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原文传递精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法

专利名称：	精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法
摘要：	本发明涉及精密金属掩膜版加工技术领域，特别涉及一种精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法，包括机架、取料平台、翻转平台、转轴机构和顶升机构，取料平台和翻转平台间隔并列的设置在机架上，且取料平台的顶面高度略低于翻转平台的顶面高度；转轴机构设置在机架上，且位于取料平台和翻转平台之间，驱动翻转平台执行翻转动作；顶升机构设置在机架上，且位于取料平台的正下方，驱动取料平台执行升降动作；取料平台和翻转平台均包括底板、静电吸盘组件和展平组件，静电吸盘组件设置在底板的上方，且通过展平组件与底板连接，取料平台的底板底端与顶升机构的顶端连接；本发明结构设计简单，翻转效率高，翻转过程中均匀受力，且具有展平功能。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	无锡超通智能制造技术研究院有限公司
发明人：	李晓;赵亮;张宝存
专利状态：	有效
申请日期：	2023-10-16T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-17T00:00:00+0800
申请号：	CN202311330577.4
公开号：	CN117068756A
代理机构：	常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	金辉
分类号：	B65G47/92;B65H5/08;B65H15/00;B;B65;B65G;B65H;B65G47;B65H5;B65H15;B65G47/92;B65H5/08;B65H15/00
申请人地址：	214000 江苏省无锡市惠山经济开发区堰新路311号3号楼1807室
主权项：	1.一种精细金属掩膜版翻转装置，包括机架，其特征在于，还包括：取料平台（100）和翻转平台（200），间隔并列的设置在机架上，且取料平台（100）的顶面高度略低于翻转平台（200）的顶面高度；转轴机构（300），设置在机架上，且位于取料平台（100）和翻转平台（200）之间，驱动翻转平台（200）执行翻转动作；顶升机构（400），设置在机架上，且位于取料平台（100）的正下方，驱动取料平台（100）执行升降动作；所述取料平台（100）和翻转平台（200）均包括底板（500）、静电吸盘组件（600）和展平组件（700），所述静电吸盘组件（600）设置在底板（500）的上方，且通过展平组件（700）与底板（500）连接，所述取料平台（100）的底板（500）底端与顶升机构（400）的顶端连接；所述展平组件（700）包括长度展平组（701）和宽度展平组（702），所述长度展平组（701）和宽度展平组（702）均包括连接板（900）、连杆（1000）、力传感器（1100）、张紧电机（1200）和安装板（1300），所述连接板（900）为两块，且其底端与安装板（1300）的顶端滑动连接，所述连杆（1000）的两端分别与连接板（900）连接，所述张紧电机（1200）的输出端通过力传感器（1100）与连杆（1000）的中部连接，所述长度展平组（701）的连接板（900）顶端与展平静电吸盘（602）连接，所述宽度展平组（702）的连接板（900）顶端与吸附静电吸盘（601）连接，所述长度展平组（701）的安装板（1300）底端滑动安装有中板（1400），所述中板（1400）与底板（500）滑动连接，所述宽度展平组（702）的安装板（1300）底端与底板（500）连接。 2.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述静电吸盘组件（600）包括吸附静电吸盘（601）、展平静电吸盘（602）和滑动组（603），所述吸附静电吸盘（601）为两个，且两个吸附静电吸盘（601）相邻并列的设置在底板（500）的中部，所述展平静电吸盘（602）沿底板（500）的长度方向分别设置在吸附静电吸盘（601）的两侧，所述吸附静电吸盘（601）和展平静电吸盘（602）之间通过滑动组（603）连接。 3.根据权利要求2所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述取料平台（100）的展平静电吸盘（602）、翻转平台（200）的吸附静电吸盘（601）以及翻转平台（200）的展平静电吸盘（602）上分别设置有PI膜，所述取料平台（100）的吸附静电吸盘（601）上设置有PET膜，所述取料平台（100）的吸附静电吸盘（601）上沿底板（500）长度方向的两端分别安装有多孔陶瓷块（800）。 4.根据权利要求2所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述连接板（900）的顶端安装有调平组件（1500），所述调平组件（1500）包括螺套（1501）和螺栓（1502），所述螺套（1501）安装在连接板（900）的顶端，所述螺栓（1502）螺纹穿设于螺套（1501），且其顶端与静电吸盘组件（600）连接。 5.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述转轴机构（300）包括翻转轴（301）、翻转电机（302）和全闭环圆光栅（303），所述翻转轴（301）的两端分别通过轴承座（304）转动安装在机架上，所述翻转电机（302）的输出端通过减速机（305）与翻转轴（301）的一端连接，所述全闭环圆光栅（303）安装在翻转轴（301）的另一端，所述翻转轴（301）与翻转平台（200）的底板（500）连接。 6.根据权利要求5所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述翻转轴（301）为中空结构，所述翻转轴（301）的外壁沿轴向开设有凹槽（1600），所述翻转轴（301）上开设有若干通孔（1700），所述凹槽（1600）通过若干通孔（1700）与翻转轴（301）的内腔连通。 7.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述顶升机构（400）包括安装架（401）、升降板（402）、导向组件（403）、连接架（404）、丝杆（405）、丝杆螺母（406）、驱动组件（407）和距离感应组件（408），所述安装架（401）安装在机架的下方，所述升降板（402）设置在安装架（401）的中部，所述导向组件（403）安装在安装架（401）的顶端，所述导向组件（403）的顶端通过连接架（404）与取料平台（100）的底板（500）连接，且其底端与升降板（402）连接，所述丝杆螺母（406）安装在升降板（402）的中心，且套设于丝杆（405）的中部，所述丝杆（405）竖直设置，且其两端分别与安装架（401）转动连接，所述驱动组件（407）安装在安装架（401）的底端，并与丝杆（405）的底端传动连接，所述距离感应组件（408）分布在取料平台（100）和翻转平台（200）上。 8.根据权利要求7所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述距离感应组件（408）包括距离感应器（4081）和感应块（4082），所述距离感应器（4081）分别安装在取料平台（100）的底板（500）两端，所述感应块（4082）分别安装在翻转平台（200）的底板（500）两端，所述距离感应器（4081）和感应块（4082）相对应。 9.一种基于权利要求1-8任一所述一种精细金属掩膜版翻转装置的翻转方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、翻转前展平：所述翻转平台（200）上放置产品，所述翻转平台（200）的静电吸盘组件（600）吸附产品，并由其展平组件（700）进行展平； S2、翻转：所述转轴机构（300）驱动翻转平台（200）翻转，直至取料平台（100）和翻转平台（200）面对面，翻转速度先高速再低速，所述顶升机构（400）驱动取料平台（100）升降，直至取料平台（100）和翻转平台（200）之间的间距达到容许范围； S3、翻转后展平：所述翻转平台（200）的静电吸盘组件（600）释放产品，产品落在取料平台（100）上，所述转轴机构（300）驱动翻转平台（200）翻转复位，所述取料平台（100）的静电吸盘组件（600）吸附产品，并由其展平组件（700）进行展平。
所属类别：	发明专利