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一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法
| 专利名称： | 一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法，包括框架主体，所述框架主体包括底板和设置在底板顶部两侧的第一架体和第二架体，第二架体与底板焊接，所述底板上还设有第一驱动机构，第一驱动机构的输出端与第一架体连接，第一驱动机构能够驱动第一架体朝着远离第二架体方向移动，所述架体上均设有纵向传输机构，第一架体和第二架体之间还设有横向传输机构，所述第一架体和第二架体上还设有升降丝杆，并且升降丝杆与纵向传输机构连接，升降丝杆能够带动纵向传输沿着竖直方向移动；还包括设置在第一架体上的控制器，所述第一驱动机构、升降丝杆、纵向传输机构、横向传输机构均与控制器连接。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 成都拓维高科光电科技有限公司 |
| 发明人： | 罗雪春;胡家铭;王宏宇;王照忠;万长明 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-08-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-13T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910722040.X |
| 公开号： | CN110562692A |
| 代理机构： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 伍星 |
| 分类号： | B65G37/00(2006.01);B;B65;B65G;B65G37 |
| 申请人地址： | 610000 四川省成都市高新区康强一路1188号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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