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原文传递一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置

专利名称：	一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置
摘要：	本发明公开了一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，涉及光刻掩膜版加工技术领域。本发明包括承接架、定位架和导向架，所述承接架固定于转移车辆的货叉上，所述承接架上设置有若干支撑块，所述支撑块用于支撑光刻掩膜版，所述定位架固定于转移车辆车体上，所述定位架上设置有导向结构，所述定位架通过导向结构与导向架可滑动地接触，所述导向架用于对定位架的移动方向进行引导。本发明可以对转移用的转移车辆进入工位时进行导向，还能对加工中的光刻掩膜版进行接取定位，避免光刻掩膜版在运输过程中相对转移车辆发生位移，确保光刻掩膜版在进入下一工位时能够准确地将光刻掩膜版放置在指定位置。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	成都中科卓尔智能科技集团有限公司
发明人：	杨伟;万敏
专利状态：	有效
申请日期：	2022-08-19T00:00:00+0800
发布日期：	2022-11-25T00:00:00+0800
申请号：	CN202210999251.X
公开号：	CN115385275A
代理机构：	北京市领专知识产权代理有限公司
代理人：	代平
分类号：	B66F9/18;B66F9/14;B66F9/075;B;B66;B66F;B66F9;B66F9/18;B66F9/14;B66F9/075
申请人地址：	610095 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都高新区天府五街200号3号楼B区8楼
主权项：	1.一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，其特征在于：包括承接架、定位架(3)和导向架(4)，所述承接架固定于转移车辆的货叉(1)上，所述承接架上设置有若干支撑块(11)，所述支撑块(11)用于支撑光刻掩膜版，所述定位架(3)固定于转移车辆车体上，所述定位架(3)上设置有导向结构，所述定位架(3)通过导向结构与导向架(4)可滑动地接触，所述导向架(4)用于对定位架(3)的移动方向进行引导。 2.根据权利要求1所述的一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，其特征在于：所述承接架包括底板(2)、回转台(7)和若干定位块(9)，所述承接架通过底板(2)同时与转移车辆的两个货叉(1)固定连接，所述回转台(7)设置于底板(2)上，所述回转台(7)上设置有若干支杆(12)，所述若干定位块(9)分别设置于若干支杆(12)上，所述若干定位块(9)上均设置有支撑块(11)。 3.根据权利要求2所述的一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，其特征在于：所述回转台(7)的顶部与底部可转动地连接，所述若干支杆(12)位于回转台(7)的顶部，所述底板(2)与回转台(7)的底部连接。 4.根据权利要求2所述的一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，其特征在于：所述支撑块(11)与定位块(9)之间设置有弹簧(14)，所述弹簧(14)的轴线方向为竖直方向，所述支撑块(11)在弹簧(14)弹力作用下沿弹簧(14)轴线上下移动，起到对光刻掩膜版的缓冲和支撑作用。 5.根据权利要求1所述的一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，其特征在于：所述定位架(3)的数量有两个，所述两个定位架(3)平行设置，所述导向结构为导向轮(13)，所述两个定位架(3)上的导向轮(13)分别设置于方向相反的侧面上。 6.根据权利要求5所述的一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，其特征在于：所述定位架(3)上设置有多个导向轮(13)，所述多个导向轮(13)通过导向轮安装板(5)固定于定位架(3)上，在一个所述定位架(3)上的多个导向轮(13)中，至少有一个导向轮(13)的高度与其它导向轮(13)不同。 7.根据权利要求1所述的一种大尺寸光刻掩膜版基版表面镀膜精密导向与定位装置，其特征在于：所述导向架(4)上设置有限位块(6)，所述限位块(6)位于导向架(4)与导向结构接触的一侧，用于控制对定位架(3)沿着导向架(4)的移动距离。