详情

原文传递一种悬臂探针转运结构及加工方法

专利名称：	一种悬臂探针转运结构及加工方法
摘要：	本发明公开了一种悬臂探针转运结构及加工方法，属于探针技术领域。所述转运结构包括吸附头和连接块；所述吸附头的底部为锥形结构，所述吸附头的底面具有与悬臂探针的针杆相匹配的弧形凹槽，所述弧形凹槽的两端沿直线延伸并贯穿所述吸附头，且所述弧形凹槽的轴线倾斜于所述连接块的底面布置，所述吸附头内具有吸附通道，所述吸附通道和所述弧形凹槽连通，所述吸附头与所述连接块可拆卸连接，所述连接块上具有真空孔，所述真空孔与所述吸附通道连通。本发明实施例提供的一种悬臂探针转运结构，不仅可以自动实现对悬臂探针的转运，提高了悬臂针探针卡的制造效率，还能适应不同类型的悬臂探针。
专利类型：	发明专利
申请人：	武汉精毅通电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
发明人：	汤友龙;何旸
专利状态：	有效
申请日期：	2023-09-27T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-03T00:00:00+0800
申请号：	CN202311260890.5
公开号：	CN116986310A
代理机构：	武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	纪元
分类号：	B65G47/91;B25J15/06;B;B65;B25;B65G;B25J;B65G47;B25J15;B65G47/91;B25J15/06
申请人地址：	430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号3号厂房一楼;
主权项：	1.一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述转运结构包括吸附头和连接块；所述吸附头的底部为锥形结构，所述吸附头的底面具有与悬臂探针的针杆相匹配的弧形凹槽；所述弧形凹槽的两端沿直线延伸并贯穿所述吸附头，且所述弧形凹槽的轴线倾斜于所述连接块的底面布置；所述吸附头内具有吸附通道，所述吸附通道和所述弧形凹槽连通；所述吸附头与所述连接块可拆卸连接，所述连接块上具有真空孔，所述真空孔与所述吸附通道连通。 2.根据权利要求1所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述吸附头的底部具有多个连接孔，多个所述连接孔平行间隔布置，且多个所述连接孔沿所述弧形凹槽的轴向排列，各所述连接孔的两端分别连通所述吸附通道和所述弧形凹槽。 3.根据权利要求2所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述连接孔包括相互连通的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的外径大于所述第二通孔的外径，且所述第一通孔连通所述吸附通道，所述第二通孔连通所述弧形凹槽。 4.根据权利要求3所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述第一通孔的外径为0.4-1.0mm，所述第一通孔的长度为1-2mm，所述第二通孔的外径为0.05-0.1mm，所述第二通孔的长度为0.5-0.8mm。 5.根据权利要求2所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述弧形凹槽的对应的弧度为60-120°，且所述连接孔的直径为所述弧形凹槽对应直径的0.5-0.8倍。 6.根据权利要求2所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述连接孔的数量不小于30个，且任意相邻两个所述连接孔的间距为0.5-1.0mm。 7.根据权利要求1所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述吸附头的底部具有狭缝，所述狭缝沿所述弧形凹槽的轴向方向延伸，所述狭缝的顶端连通所述吸附通道，所述狭缝底端连通所述弧形凹槽。 8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述吸附头包括两个吸附体，两个所述吸附体可拆卸连接，各所述吸附体上具有吸附槽和弧形半槽，所述弧形半槽在轴向上均与相对应的所述吸附槽连通，两个所述吸附槽形成所述吸附通道，两个所述弧形半槽形成所述弧形凹槽。 9.根据权利要求1-7任意一项所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述吸附头的顶部具有密封凹槽，所述密封凹槽的外径大于所述吸附通道，所述密封凹槽与所述吸附通道连通，所述连接块的底部具有凸台，所述真空孔贯穿所述凸台，所述凸台插装在所述密封凹槽中，且所述凸台和所述密封凹槽底部之间夹设有密封件。 10.一种悬臂探针转运结构的加工方法，其特征在于，所述加工方法基于权利要求1-9任意一项所述的转运结构，所述加工方法包括：对所述吸附头的底端进行加工，使得所述吸附头的底部形成锥形及所述吸附头的底面形成所述弧形凹槽；分别对所述吸附头和所述连接块进行加工，形成所述吸附通道和所述真空孔，并使得所述吸附通道和所述弧形凹槽连通；连接所述连接块和所述吸附头，并使得所述真空孔与所述吸附通道连通。
所属类别：	发明专利