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原文传递自动化物料搬运系统及其搬运方法

专利名称：	自动化物料搬运系统及其搬运方法
摘要：	本申请涉及一种自动化物料搬运系统及其搬运方法，包括自动化天车和第一移载机构，所述自动化天车设有第一升降机构以及与所述第一升降机构相连的第一抓取件，所述第一抓取件用于取放晶圆盒；所述第一移载机构设置于所述自动化天车的下方，所述第一移载机构设有第一移动机构以及第一载体，所述第一移动机构与所述第一载体相连，用于驱动所述第一载体移动，所述第一载体用于承载所述晶圆盒，所述第一载体与所述第一抓取件的运行速度与运行方向保持一致或控制偏差在预设范围以内，当所述第一载体移动到与所述第一抓取件相互对接的对接位置时，所述第一抓取件能将所述晶圆盒放置到所述第一载体上，以及能将所述第一载体上的晶圆盒抓取。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	长鑫存储技术有限公司
发明人：	陈天柱
专利状态：	有效
申请日期：	2022-05-20T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-28T00:00:00+0800
申请号：	CN202210550336.X
公开号：	CN117125425A
代理机构：	华进联合专利商标代理有限公司
代理人：	周修文
分类号：	B65G35/00;B65G47/90;B;B65;B65G;B65G35;B65G47;B65G35/00;B65G47/90
申请人地址：	230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
主权项：	1.一种自动化物料搬运系统，其特征在于，所述自动化物料搬运系统包括：自动化天车，所述自动化天车设有第一升降机构以及与所述第一升降机构相连的第一抓取件，所述第一抓取件用于取放晶圆盒；以及第一移载机构，所述第一移载机构设置于所述自动化天车的下方，所述第一移载机构设有第一移动机构以及第一载体，所述第一移动机构与所述第一载体相连，用于驱动所述第一载体移动，所述第一载体用于承载所述晶圆盒，所述第一载体与所述第一抓取件的运行速度与运行方向保持一致或控制偏差在预设范围以内，当所述第一载体移动到与所述第一抓取件相互对接的对接位置时，所述第一抓取件能将所述晶圆盒放置到所述第一载体上，以及能将所述第一载体上的晶圆盒抓取。 2.根据权利要求1所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述自动化物料搬运系统还包括导轨；所述自动化天车沿着所述导轨运行；所述自动化天车与所述导轨中的其中之一上设有第一感应器，另一设置有与所述第一感应器相配合的第一配合件；所述第一感应器与所述自动化天车电性连接，所述自动化天车根据所述第一感应器的感应信号能控制所述第一升降机构降下所述第一抓取件，和/或，所述自动化天车降低自身沿着所述导轨的运行速度。 3.根据权利要求1所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述自动化天车与所述第一载体中的其中之一上设有第二感应器，另一设置有与所述第二感应器相配合的第二配合件；所述第二感应器与所述自动化天车电性连接，所述自动化天车根据所述第二感应器的感应信号能控制所述第一抓取件取放所述晶圆盒。 4.根据权利要求1所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述自动化物料搬运系统还包括第二移载机构；所述第二移载机构能够将所述晶圆盒在所述第一载体与存放站点间相互转移。 5.根据权利要求4所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述自动化物料搬运系统还包括设置在所述第一移载机构与所述第二移载机构之间的转移机构和缓存机构；所述转移机构用于将其放置的所述晶圆盒转移到所述第一载体或所述缓存机构上，以及能获取所述第一载体或所述缓存机构上的晶圆盒；所述第二移载机构能够将所述晶圆盒在所述缓存机构与所述存放站点间相互转移。 6.根据权利要求5所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述转移机构包括第二移动机构与转移件；所述第二移动机构与所述转移件相连，所述第二移动机构用于驱动所述转移件移动，所述第二转移件能放置所述晶圆盒、将其放置的所述晶圆盒转移到所述第一载体或所述缓存机构上、以及能获取所述第一载体或所述缓存机构上的晶圆盒。 7.根据权利要求6所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述第一载体与所述转移机构的其中之一上设有第三感应器，另一设置有与所述第三感应器相配合的第三配合件；所述第三感应器与所述第一移动机构或所述第二移动机构电性连接，所述第一移动机构或所述第二移动机构根据所述第三感应器的感应信号能停止移动；所述转移机构与所述缓存机构的其中之一上设有第四感应器，另一设置有与所述第四感应器相配合的第四配合件；所述第四感应器与所述第二移动机构电性连接，所述第二移动机构根据所述第四感应器的感应信号能停止移动。 8.根据权利要求5所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述缓存机构包括旋转件与第二载体；所述旋转件与所述第二载体相连，并能驱动所述第二载体转动，所述第二载体用于放置所述晶圆盒。 9.根据权利要求8所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述缓存机构还包括第一基体、第五感应器与第五配合件，所述旋转件设置于所述第一基体上；所述第五感应器与所述第五配合件其中之一设置于所述第一基体上，另一直接地或间接地设置于所述第二载体上；所述第五感应器与所述旋转件电性连接，所述旋转件用于根据所述第五感应器的感应信号停止转动。 10.根据权利要求8所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述缓存机构还包括设置于所述旋转件与所述第二载体之间的第二基体和第二升降机构，所述旋转件与所述第二基体相连，所述第二升降机构设置于所述第二基体上，所述第二升降机构与所述第二载体相连。 11.根据权利要求10所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述第二升降机构包括交叉设置并转动连接的两个转动臂，以及设置于所述第二基体上的伸缩件；所述转动臂两端分别通过滑块滑动地设置于所述第二基体与所述第二载体上，所述伸缩件与至少其中一个所述转动臂相连。 12.根据权利要求5所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述缓存机构为至少两个；所述第二移载机构能够移动靠近任意一个所述缓存机构。 13.根据权利要求5所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述第二移载机构设有第三升降机构以及第二抓取件；所述第二抓取件用于取放晶圆盒，所述第三升降机构与所述第二抓取件相连。 14.根据权利要求5所述的自动化物料搬运系统，其特征在于，所述转移机构上设置有荷载传感器，所述荷载传感器用于感应所述转移机构上是否放置有所述晶圆盒。 15.一种如权利要求1至14任一项所述的自动化物料搬运系统的搬运方法，其特征在于，所述搬运方法包括如下步骤：所述晶圆盒在所述自动化天车与所述第一移载机构间的转移步骤，通过所述第一移动机构驱动所述第一载体移动增加所述第一载体的运行速度，并当所述第一载体移动到与所述第一抓取件相互对接的对接位置时，控制所述第一载体与所述第一抓取件的运行速度与运行方向保持一致或控制偏差在预设范围以内，并将所述晶圆盒在所述第一抓取件与所述第一载体间进行转移。 16.根据权利要求15所述的搬运方法，其特征在于，所述晶圆盒在所述自动化天车与所述第一移载机构间的转移步骤中还包括：在所述第一载体移动到与所述第一抓取件相互对接的对接位置之前，通过第一移动机构增加所述第一载体的运行速度，控制所述自动化天车降低运行速度，以及控制所述第一升降机构降低所述第一抓取件的位置；在所述第一载体移动到与所述第一抓取件相互对接的对接位置时，所述第一移动机构驱动所述第一载体匀速运动，所述自动化天车匀速运动；所述晶圆盒在所述第一抓取件与所述第一载体间进行转移后，通过所述第一移动机构降低所述第一载体的运行速度，控制所述自动化天车增加运行速度，以及控制所述第一升降机构增加所述第一抓取件的位置。 17.根据权利要求15所述的搬运方法，其特征在于，所述搬运方法还包括步骤：将晶圆盒在第一载体与转移机构之间进行转移，将晶圆盒在转移机构与缓存机构之间进行转移，将晶圆盒在缓存机构与第二移载机构之间进行转移，以及将晶圆盒在第二移载机构与存放站点之间进行转移。
所属类别：	发明专利