详情

原文传递一种甲烷气体传感器及制造工艺

专利名称：	一种甲烷气体传感器及制造工艺
摘要：	本发明公开了一种甲烷气体传感器及制造工艺，属于传感器技术领域，解决了如何对甲烷气体的快速检测的问题。本发明传感器的结构为表面电阻型，所述传感器的传感单元用叉指电极的两端做正负极，二氧化锡/钯/铂复合薄膜沉积在电极之上，所述传感单元安装在陶瓷基板上；甲烷气体传感器的制造工艺，包括如下步骤：S1、制备二氧化锡纳米粉末和二氧化锡/钯/铂复合材料；S2、对叉指电极进行清洁处理；S3、利用S1中得到的二氧化锡纳米粉末和二氧化锡/钯/铂复合材料以及S2中清洁处理后的叉指电极制造传感器。本发明实现了对甲烷气体的快速检测；提升了敏感材料灵敏度并降低了工作温度。
专利类型：	发明专利
申请人：	中铁工程服务有限公司;电子科技大学
发明人：	李开富;谭小波;黄斌;李云;武焱林;王瑞;张兴;严宏凯;郑慧宜;郭小伟;李绍荣;杨承
专利状态：	有效
申请日期：	2023-06-25T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-10T00:00:00+0800
申请号：	CN202310750910.0
公开号：	CN117030969A
代理机构：	成都智言知识产权代理有限公司
代理人：	蒋秀清
分类号：	G01N33/22;G;G01;G01N;G01N33;G01N33/22
申请人地址：	610000 四川省成都市金牛高科技产业园金凤凰大道666号;
主权项：	1.一种甲烷气体传感器，传感器(1)的结构为表面电阻型，其特征在于，所述传感器(1)的传感单元用叉指电极(2)的两端做正负极，二氧化锡/钯/铂复合薄膜(3)沉积在叉指电极(2)之上，所述传感单元安装在陶瓷基板上。 2.根据权利要求1所述的一种甲烷气体传感器，其特征在于，所述的叉指电极(2)中的基板为硅基板。 3.一种甲烷气体传感器的制造工艺，其特征在于，包括如下步骤： S1、制备二氧化锡纳米粉末和二氧化锡/钯/铂复合材料； S2、对叉指电极(2)进行清洁处理； S3、利用S1中得到的二氧化锡纳米粉末和二氧化锡/钯/铂复合材料以及S2中清洁处理后的叉指电极(2)制造传感器(1)。 4.根据权利要求3所述的一种甲烷气体传感器的制造工艺，其特征在于，所述S1中制备二氧化锡纳米粉末具体过程为： S111：向乙醇溶液中加入氯化亚锡和盐酸，并进行搅拌； S112：向S111得到的溶液中加入次氯酸钠，并继续进行搅拌，得到白色溶液； S113：将S112得到的白色溶液倒入聚四氟乙烯内胆的水热反应釜中，并对得到的混合溶液进行加热； S114：加热结束后将得到物料冷却至室温，然后对物料进行离心处理； S115：对经过离心处理后得到的物料进行洗涤，洗涤结束后进行干燥，干燥结束后得到二氧化锡纳米粉末。 5.根据权利要求2或3所述的一种甲烷气体传感器的制造工艺，其特征在于，所述S1中制备二氧化锡/钯/铂复合材料的具体过程为： S121：向二氧化锡粉末中加水，然后进行研磨； S122：向S121得到的物料中加入氯化钯水溶液和氯铂酸水溶液，并继续研磨，直至得到均匀的糊状材料，即得到二氧化锡/钯/铂的复合材料。 6.根据权利要求2或3所述的一种甲烷气体传感器的制造工艺，其特征在于，所述S2的具体过程为：将叉指电极(2)分别用乙醇、丙酮清洗，然后用去离子水冲洗，放到超声波清洗机在常温下进行处理，将清洗过的叉指电极(2)放到空气下自然烘干。 7.根据权利要求2或3所述的一种甲烷气体传感器的制造工艺，其特征在于，所述S3的具体过程为：取上述制备好的二氧化锡/钯/铂粉末，分别分三次加入去离子水，然后进行研磨，直至得到均匀的白色糊状胶状物，然后将得到的白色糊状胶状物涂覆在叉指电极(2)，然后对叉指电极(2)进行加热，加热结束后对叉指部分进行烧结，冷却后得到二氧化锡/钯/铂复合薄膜气体传感器。 8.根据权利要求7所述的一种甲烷气体传感器的制造工艺，其特征在于，将得到的白色糊状胶状物涂覆在叉指电极(2)上时，涂覆三层，每层的厚度为0.1-1mm。 9.根据权利要求2或3所述的一种甲烷气体传感器的制造工艺，其特征在于，所述叉指电极(2)中的基板为硅基板。
所属类别：	发明专利