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一种镀锡工艺中锡泥负载钯的甲烷气体传感器及制备方法
| 专利名称： | 一种镀锡工艺中锡泥负载钯的甲烷气体传感器及制备方法 |
| 摘要： | 一种镀锡工艺中锡泥负载钯的甲烷气体传感器及制备方法，属于半导体气体传感器与环境监测技术领域。本发明针对镀锡工艺中的产生的锡泥的浪费问题，对锡泥进行了洗涤、造孔、烧结等改性处理，并在此基础上进行了金属钯负载制备了甲烷敏感材料。所制备的气体传感器在对CH4气体检测时表现出较高的灵敏度及较好的响应‑恢复特性。本发明所采用的材料制备以及气体传感器制备工艺具有工艺简单、原料成本低、制备周期短等优点，可用于工业化、大批量生产。同时，在原料来源方面实现了资源的综合利用。因而所述传感器在甲烷气体检测方面有广阔的应用前景。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 东北大学;深圳赛飞凌科技有限公司 |
| 发明人： | 李建中;徐浩元;付玉;尹远洪 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810440026.6 |
| 公开号： | CN108663420A |
| 代理机构： | 大连理工大学专利中心 21200 |
| 代理人： | 陈玲玉;梅洪玉 |
| 分类号： | G01N27/30(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/30 |
| 申请人地址： | 110819 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号 |
| 主权项： | 1.一种镀锡工艺中锡泥负载钯的甲烷气体传感器，其特征在于，该传感器为平板式结构，以陶瓷基片作为基底，陶瓷基片的正面设置叉指镀金电极，叉指镀金电极上涂敷敏感材料薄膜，敏感材料为镀锡工艺中产生的锡泥经改性并负载金属钯的多孔纳米固体，陶瓷基片的背面设置微型高温加热片。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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