专利名称: |
多检测晶圆盒专用全自动机械夹爪 |
摘要: |
本实用新型提供一种多检测晶圆盒专用全自动机械夹爪主要使用在晶圆盒转运过程中,它包括运动主块,所述运动主块成方形,其内部设计有动作结构。所述运动主块与机械臂相连,所述运动主块上部设计有对称向上伸出的两个可以开合运动的连接头,两个所述连接头分别与对称设计的两个夹块相连,两所述夹块的前端内侧分别设计有托槽边;所述托槽边用来将晶圆盒托起,两个所述夹块的内侧设计有两组对射开关传感器,两个所述夹块的前端设计有微动传感器,所述微动传感器与报警器相连。该夹爪上设置多种检测模块,从而实现对夹爪夹取物品时多点精确检测,可以准确判定物品的夹取状态。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
捷螺智能设备(苏州)有限公司 |
发明人: |
洪成都;张振义 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2023-05-08T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2023-11-28T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202321076224.1 |
公开号: |
CN220097746U |
代理机构: |
苏州品成专利商标代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
吕森 |
分类号: |
B65G47/90;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/90 |
申请人地址: |
215000 江苏省苏州市吴中区越溪街道北官渡路38号3幢1F西侧A区 |
主权项: |
1.一种多检测晶圆盒专用全自动机械夹爪,它包括运动主块(1),所述运动主块(1)与机械臂相连,所述运动主块(1)上部设计有对称向上伸出的两个可以开合运动的连接头(11),两个所述连接头(11)分别与对称设计的两个夹块(2)相装配,两所述夹块的前端内侧分别设计有托槽边(21);其特征在于:两个所述夹块(2)的内侧设计有两组对射开关传感器(3),两个所述夹块(2)的前端设计有微动传感器(4),所述微动传感器(4)与报警器相连。 2.根据权利要求1所述的多检测晶圆盒专用全自动机械夹爪,其特征在于:所述运动主块(1)的下部设计有向前方进行探测的超声波模块(5)。 3.根据权利要求1所述的多检测晶圆盒专用全自动机械夹爪,其特征在于:所述运动主块(1)后部设计有两个分别探测连接开合运动的开位光电传感器(6)、关位光电传感器(7)。 4.根据权利要求1所述的多检测晶圆盒专用全自动机械夹爪,其特征在于:所述托槽边(21)的内测设计有夹位传感器(8)。 5.根据权利要求1所述的多检测晶圆盒专用全自动机械夹爪,其特征在于:所述运动主块(1)内部的动作结构采用滚珠丝杠往复运动结构,或者采用齿轮齿条啮合结构。 |
所属类别: |
实用新型 |