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原文传递晶圆盒

专利名称：	晶圆盒
摘要：	本实用新型提供一种晶圆盒，用于存储晶圆片，其包括盒体、设置于所述盒体底部的底座以及盒盖，还包括设置于所述底座内周上的支撑条，所述底座的内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述盒盖与所述底座通过所述螺纹螺接，可使多个晶圆盒固定在一起，放入同一个包装袋中包装出货，节约了包装及运输成本，所述支撑条的数量为八条，从而加大底座支撑固定的力度，便于操作人员旋拧所述盒盖，并可保证在真空包装过程中底座不变形，确保晶圆片的存储安全。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人：	庄祈龙;许俊;高海林;时寒
专利状态：	有效
申请日期：	2008-12-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200820156892.4
公开号：	CN201323191
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所
代理人：	屈蘅;李时云
分类号：	H01L21/673(2006.01)I
申请人地址：	201203上海市张江路18号
主权项：	1、一种晶圆盒，包括：盒体；底座，为环形，设置于所述盒体底部；以及盒盖，盖合于所述盒体上；其特征在于，所述底座内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹相匹配。
所属类别：	实用新型