专利名称: | 一种晶圆盒存放架 |
摘要: | 本实用新型提供了一种晶圆盒存放架,它包括若干存放层,围杆、栏杆和 隔杆,若干存放层之间通过所述围杆连接;每个存放层通过围杆均安装有栏杆 和隔杆,栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上;每层存放层包括两个子存放部 和两个折叠杆,两个子存放部拼接成一存放层,两个折叠杆平行安装在所述两 个子存放部拼接的位置;围杆为圆筒状,分若干节子围杆,子围杆节与节连接 成围杆,子围杆的直径节节向上递减。本实用新型可将存放层的两个子存放部 折叠起,缩小存放架的存储容量;围杆可收缩成一子围杆的高度实现存放架的 完全折叠。该晶圆盒存放架的灵活性大可有效解决传统存放架存在的灵活性低 和占用空间大的问题。 |
专利类型: | 实用新型专利 |
国家地区组织代码: | 上海;31 |
申请人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人: | 黄 臣;王明珠;康 盛;赵国庆 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2008-06-18T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200820059913.0 |
公开号: | CN201249995 |
代理机构: | 上海思微知识产权代理事务所 |
代理人: | 屈 蘅;李时云 |
分类号: | B65G1/02(2006.01)I |
申请人地址: | 201203上海市张江路18号 |
主权项: | 1、一种晶圆盒存放架,其特征在于,它包括多个存放层,围杆、栏杆和隔杆, 所述若干存放层之间通过所述围杆连接;每个存放层通过围杆均安装有栏杆和 隔杆,所述栏杆和隔杆安装在所述存放层的三条边上;每层存放层包括两个子 存放部和两个折叠杆,所述两个子存放部拼接成一存放层,所述两个折叠杆平 行安装在所述两个子存放部拼接的位置;所述围杆为圆筒状,分若干节子围杆, 所述子围杆节与节连接成围杆,所述子围杆的直径节节向上递减。 |
所属类别: | 实用新型 |