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原文传递一种多工位切换装置

专利名称：	一种多工位切换装置
摘要：	本申请公开一种多工位切换装置，其特征在于，包括驱动装置、固定构件、工位旋转装置和多个内置固定组件；所述驱动装置和所述工位旋转装置相对设置于所述固定构件的上下两面，所述驱动装置固定连接所述工位旋转装置补充；所述工位旋转装置包括内置固定装置和旋转底板，所述内置固定装置固定在所述旋转底板上；多个内置固定组件沿所述内置固定装置的转轴的周向均匀分布。本申请可以实现多工位切换的简单便捷，满足多工位切换的需求，同时，简单的结构连接方式简化了装置的结构，使得本申请的多工位切换装置易于生产和使用。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州科韵激光科技有限公司
发明人：	王伟;韩杰;李忠乾;王刚
专利状态：	有效
申请日期：	2023-06-26T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-03T00:00:00+0800
申请号：	CN202321637797.7
公开号：	CN219949493U
代理机构：	北京市万慧达律师事务所
代理人：	李佳桁
分类号：	B65G29/00;B65G47/84;B;B65;B65G;B65G29;B65G47;B65G29/00;B65G47/84
申请人地址：	215100 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞苇路668号
主权项：	1.一种多工位切换装置，其特征在于，包括驱动装置、固定构件、工位旋转装置和多个内置固定组件；所述驱动装置和所述工位旋转装置相对设置于所述固定构件的上下两面，所述驱动装置固定连接所述工位旋转装置；所述工位旋转装置包括内置固定装置和旋转底板，所述内置固定装置固定在所述旋转底板上；多个内置固定组件沿所述内置固定装置的转轴的周向均匀分布。 2.根据权利要求1所述的一种多工位切换装置，其特征在于，每一内置固定组件均包括晶圆环固定装置和晶圆环，所述晶圆环固定装置固定于所述旋转底板的所述内置固定装置上，所述晶圆环置于所述晶圆环固定装置内部。 3.根据权利要求2所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述旋转底板的边缘设有吸附铁环，所述内置固定装置通过所述吸附铁环固定在所述旋转底板上。 4.根据权利要求3所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述晶圆环固定装置包括内圈固定件和旋转压板，所述旋转压板上设有吸附装置，用于吸附所述旋转底板上的所述吸附铁环。 5.根据权利要求4所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述旋转压板为中空环状，所述旋转压板覆盖所述内圈固定件，所述旋转压板的形状与所述吸附铁环的形状相匹配。 6.根据权利要求4所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述内圈固定件上还设有卡接装置，所述卡接装置用于卡紧所述内圈固定件中的所述晶圆环。 7.根据权利要求6所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述内圈固定件固定连接在所述吸附铁环内部，所述吸附铁环完全抵接所述内圈固定件。 8.根据权利要求1所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述内置固定组件包括第一内置固定组件、第二内置固定组件、第三内置固定组件和第四内置固定组件；所述工位旋转装置为矩形结构，第一内置固定组件、第二内置固定组件、第三内置固定组件和第四内置固定组件分布在所述工位旋转装置的四个边角处。 9.根据权利要求1所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述驱动装置包括驱动电机和转角行星减速机，所述转角行星减速机包括速度输入端和速度输出端，所述驱动电机连接所述速度输入端，所述速度输出端固定连接所述工位旋转装置。 10.根据权利要求9所述的一种多工位切换装置，其特征在于，所述固定构件上设有通孔和固定孔，所述工位旋转装置和所述速度输出端固定连接在所述通孔处，所述固定孔固定连接在安装基础上。
所属类别：	实用新型