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原文传递半导体毛坯件转运箱

专利名称：	半导体毛坯件转运箱
摘要：	本申请提供一种半导体毛坯件转运箱，属于半导体技术领域。包括：箱体；半导体毛坯件容置腔，位于箱体内，配置为容置半导体毛坯件，且能存放预设种类的液体，液体能抑制半导体毛坯件接触到第一物质产生的机械损伤和化学损伤；半导体毛坯件容置腔开设有错开布置的进液口和排液口；过滤器，设置在半导体毛坯件容置腔外的箱体内，并与进液口连通，配置为过滤注入半导体毛坯件容置腔的液体；半导体毛坯件容置腔内的液体能通过进液口和排液口进行更换，以使液体内的第一物质小于预设值；第一物质为脏污或杂质。本申请的半导体毛坯件转运箱，能减少半导体毛坯件表面的损伤。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	新美光(苏州)半导体科技有限公司
发明人：	请求不公布姓名
专利状态：	有效
申请日期：	2023-06-06T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-28T00:00:00+0800
申请号：	CN202321421830.2
公开号：	CN220097216U
代理机构：	苏州锦尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	朱磊;李洋
分类号：	B65D81/05;B65D85/30;B;B65;B65D;B65D81;B65D85;B65D81/05;B65D85/30
申请人地址：	215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园北区C幢103
主权项：	1.一种半导体毛坯件转运箱，其特征在于，包括：箱体；半导体毛坯件容置腔，位于所述箱体内，配置为容置半导体毛坯件，且能存放预设种类的液体，所述液体能抑制半导体毛坯件接触到第一物质产生的机械损伤和化学损伤；所述半导体毛坯件容置腔开设有错开布置的进液口和排液口；过滤器，设置在所述半导体毛坯件容置腔外的箱体内，并与所述进液口连通，配置为过滤注入所述半导体毛坯件容置腔的液体；所述半导体毛坯件容置腔内的液体能通过所述进液口和所述排液口进行更换，以使所述液体内的第一物质小于预设值；所述第一物质为脏污或杂质。 2.根据权利要求1所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，还包括：过滤腔，与所述半导体毛坯件容置腔间隔设置，所述过滤腔设置有所述过滤器；第一通道，配置为供所述液体自所述半导体毛坯件容置腔单向流入所述过滤腔的流体通道，且经过所述过滤器；第二通道，配置为供过滤后的液体自所述过滤腔单向流入所述半导体毛坯件容置腔的流体通道；所述第二通道的流入所述半导体毛坯件容置腔的进水口高于所述半导体毛坯件容置腔流入第一通道的出水口。 3.根据权利要求2所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，所述第一通道的一端连接所述半导体毛坯件容置腔的底部，另一端连接所述过滤腔的底部；所述过滤器设置于所述过滤腔的底部。 4.根据权利要求3所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，还包括：流体动力部件，配置为驱动所述第二通道内的液体流动，以使液体自所述过滤腔单向流入所述半导体毛坯件容置腔，并相应导致液体自所述半导体毛坯件容置腔单向流入所述过滤腔。 5.根据权利要求2所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，所述半导体毛坯件容置腔的接近底部的侧壁逐渐向所述排液口收缩，以引导液体流向所述排液口。 6.根据权利要求5所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，所述半导体毛坯件容置腔的接近底部的侧壁为曲面。 7.根据权利要求1-6任一项所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，还包括：超声波清洗部件，配置为清洗黏附在半导体毛坯件表面的脏污；所述超声波清洗部件安装在所述半导体毛坯件容置腔的侧壁。 8.根据权利要求1-6任一项所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，所述半导体毛坯件容置腔包括：固定夹，配置为固定半导体毛坯件；所述固定夹包括夹持住所述半导体毛坯件的部分边缘的夹持槽；所述固定夹固定在所述半导体毛坯件容置腔内。 9.根据权利要求8所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，所述半导体毛坯件容置腔还包括：支撑杆，配置为将固定夹固定在所述半导体毛坯件容置腔内；所述支撑杆的两端分别固定在所述半导体毛坯件容置腔的相对的两个侧壁，所述固定夹套设在所述支撑杆上，所述固定夹的夹持槽的朝向垂直于所述支撑杆的轴线。 10.根据权利要求9所述的半导体毛坯件转运箱，其特征在于，所述半导体毛坯件容置腔还包括：调整端板，配置为调整所述支撑杆在半导体毛坯件容置腔的位置，以适应不同大小的半导体毛坯件；所述调整端板的数量至少为2个，分别固定在所述半导体毛坯件容置腔的相对的两个侧壁，以对应所述支撑杆的两端；所述调整端板设置有多个安装所述支撑杆的安装位。
所属类别：	实用新型