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用于玻璃基板的静电吸引设备和吸引和释放玻璃基板的方法
| 专利名称： | 用于玻璃基板的静电吸引设备和吸引和释放玻璃基板的方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种静电吸引设备和一种能够可靠吸引和快速释放玻 璃基板的吸引/释放方法。根据玻璃基板的物理性质获得用于吸引玻璃基板 的吸引力。除了获得用于获得吸引力所要求的吸引电压(V |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 三菱重工业株式会社 |
| 发明人： | 加藤光雄;堀江茂齐;青井辰史;河野将树;津元良公;小笠原弘明;小林敏郎 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-12-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680053935.X |
| 公开号： | CN101401198 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 王新华 |
| 分类号： | H01L21/683(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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