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纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体
| 专利名称： | 纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体 |
| 摘要： | 本发明纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体包括探针、样品和并排站立并固定于 基座上的两个压电管，探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端，探针与样品间的间隙 调节方向与两个压电管的轴线方向垂直，两个压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定 位、一个Y定位和一个Z定位。本发明是一种把探针与样品间距的调节方向设置成与压电管 轴线方向垂直以提高探针-样品间距的调节范围，使得在全部使用小于18V的低电压情况下也 能实现以往必须使用大于18V的高电压才能实现的粗逼近、细逼近和对大起伏表面成像的功 能，并具有很高热稳定性的扫描探针显微镜镜体。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 中国科学技术大学 |
| 发明人： | 侯玉斌;王霁晖;陆轻铀 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-04-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810023612.7 |
| 公开号： | CN101556236 |
| 分类号： | G01N13/10(2006.01)I |
| 申请人地址： | 230026安徽省合肥市金寨路96号 |
| 主权项： | 1、一种纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体，包括探针、样品，其特征在于还包括并 排站立并固定于基座上的两个压电管，探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端，所述 探针与样品间的间隙调节方向与所述两个压电管的轴线方向垂直，所述两个压电管中至少包 含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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