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泵浦探针测量装置以及使用它的扫描探针显微镜装置
| 专利名称： | 泵浦探针测量装置以及使用它的扫描探针显微镜装置 |
| 摘要： | 泵浦探针测量装置(1)具备：超短光脉冲激光产生部(11)， 其产生成为泵浦光的第一超短光脉冲列以及成为探针光的第二 超短光脉冲列；延迟时间调整部(15)，其调整超短光脉冲列的 延迟时间；第一以及第二脉冲拾取器(13、14)，其分别入射第 一以及第二超短光脉冲列，通过以任意的重复频率使一个脉冲 透过来降低脉冲光的有效重复频率；延迟时间调制部(10)，其 周期性地变更从第一以及第二脉冲拾取器(13、14)通过的脉冲 的选择位置；照射光学系统(16)，其将泵浦光以及探针光照射 到试样(19)上；测量部(20)，其对来自试样(19)的探针信号进行 检测；以及锁定检测部(18)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
| 发明人： | 重川秀实;武内修 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-11-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780050609.8 |
| 公开号： | CN101595379 |
| 代理机构： | 北京林达刘知识产权代理事务所 |
| 代理人： | 刘新宇;陈立航 |
| 分类号： | G01N21/01(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本埼玉县 |
| 主权项： | 1.一种泵浦探针测量装置，具备： 超短光脉冲激光产生部，其产生成为泵浦光的第一超短光 脉冲列以及成为探针光的第二超短光脉冲列； 延迟时间调整部，其调整上述第一超短光脉冲列以及第二 超短光脉冲列的延迟时间； 第一脉冲拾取器以及第二脉冲拾取器，其分别被入射上述 第一超短光脉冲列以及第二超短光脉冲列，通过以任意的重复 频率使一个脉冲透过来降低光脉冲的有效重复频率； 延迟时间调制部，其周期性地变更由上述第一脉冲拾取器 以及第二脉冲拾取器通过的光脉冲的选择位置； 测量部，其具有将上述泵浦光以及探针光照射到试样上的 照射光学系统，检测来自该试样的探针信号；以及 锁定检测部，其以上述延迟时间调制部中的调制频率对来 自上述试样的探针信号进行相位敏感检测， 其中，上述第一脉冲拾取器或者第二脉冲拾取器变更要透 过的光脉冲的选择位置，由此调制与透过了第二脉冲拾取器或 者第一脉冲拾取器的光脉冲之间的延迟时间。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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