专利名称: |
试样表面的制作方法、试样表面的分析方法、电场辅助氧化用探针及具备该探针的扫描型探针显微镜 |
摘要: |
本发明提供一种形成有标记的试样表面的制作方法,所述标记是在试样表面局部形成的局部氧化膜;通过在使探针的前端与所述试样表面接触的状态下,对所述探针与试样表面之间施加电压来形成所述局部氧化膜;并且使所述探针在实施了水分供给处理后与所述试样表面接触。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
日本;JP |
申请人: |
胜高股份有限公司 |
发明人: |
森敬一朗;桥本香织;秀智枝 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201780036199.5 |
公开号: |
CN109313107A |
代理机构: |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人: |
刘秀青 |
分类号: |
G01N1/28(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1 |
申请人地址: |
日本东京都港区芝浦一丁目2番1号 |
主权项: |
1.一种制作方法,是形成有标记的试样表面的制作方法,其特征在于,所述标记是在试样表面局部形成的局部氧化膜;通过在使探针的前端与所述试样表面接触的状态下,对所述探针与试样表面之间施加电压来形成所述局部氧化膜;并且使所述探针在实施了水分供给处理后与所述试样表面接触。 |
所属类别: |
发明专利 |