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试样表面的制作方法、试样表面的分析方法、电场辅助氧化用探针及具备该探针的扫描型探针显微镜
| 专利名称： | 试样表面的制作方法、试样表面的分析方法、电场辅助氧化用探针及具备该探针的扫描型探针显微镜 |
| 摘要： | 本发明提供一种形成有标记的试样表面的制作方法，所述标记是在试样表面局部形成的局部氧化膜；通过在使探针的前端与所述试样表面接触的状态下，对所述探针与试样表面之间施加电压来形成所述局部氧化膜；并且使所述探针在实施了水分供给处理后与所述试样表面接触。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 胜高股份有限公司 |
| 发明人： | 森敬一朗;桥本香织;秀智枝 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201780036199.5 |
| 公开号： | CN109313107A |
| 代理机构： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
| 代理人： | 刘秀青 |
| 分类号： | G01N1/28(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1 |
| 申请人地址： | 日本东京都港区芝浦一丁目2番1号 |
| 主权项： | 1.一种制作方法，是形成有标记的试样表面的制作方法，其特征在于，所述标记是在试样表面局部形成的局部氧化膜；通过在使探针的前端与所述试样表面接触的状态下，对所述探针与试样表面之间施加电压来形成所述局部氧化膜；并且使所述探针在实施了水分供给处理后与所述试样表面接触。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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