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半导体传感器装置、包括这种装置的诊断仪器以及制造这种装置的方法
| 专利名称： | 半导体传感器装置、包括这种装置的诊断仪器以及制造这种装置的方法 |
| 摘要： | 用于感测物质(30)的半导体传感器装置(10)，包括在半导体 主体(12)的表面上形成的台面形状的半导体区(11，11’)，而包 括要被感测的物质(30)的流体(20)能够沿着台面形状的半导体区 (11)流动，其中台面形状的半导体区(11)在纵向方向上观看时相 继地包括第一半导体子区(1)、第二半导体子区(2)和第三子区(3)， 该第一半导体子区包括第一半导体材料，该第二半导体子区包括与第 一半导体材料不同的第二半导体材料，该第三子区包括与第二半导体 材料不同的第三半导体材料。根据本发明，第一和第三半导体材料包 括光学钝态材料而第二半导体材料包括光学活性材料，要被感测的物 质(30)能够改变来自第二子区(2)的电磁辐射(E)的特性并且半 导体传感器装置(10)形成为使得其特性已被改变的电磁辐射(E)能 够到达检测器(50)。根据本发明的传感器装置(10)能够很灵敏、 相对紧凑且易于制造。该辐射(E)能够来自外部源(40)或者能够在 装置(10)中生成。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 发明人： | N·N·卡亚;E·P·A·M·巴克斯;T·斯特芬;L·M·博格斯特伦 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-12-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780045234.6 |
| 公开号： | CN101558290 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 龚海军;刘 红 |
| 分类号： | G01N21/47(2006.01)I |
| 申请人地址： | 荷兰艾恩德霍芬 |
| 主权项： | 1.用于感测物质(30)的半导体传感器装置(10)，包括在半导 体主体(12)的表面上形成的台面形状的半导体区(11，11’)，而 包括要被感测的物质(30)的流体(20)能够沿着台面形状的半导体 区(11)流动，其中在纵向方向上观看时台面形状的半导体区(11) 相继地包括第一半导体子区(1)、第二半导体子区(2)和第三子区 (3)，该第一半导体子区包括第一半导体材料，该第二半导体子区包 括与第一半导体材料不同的第二半导体材料，该第三子区包括与第二 半导体材料不同的第三半导体材料，其特征在于，第一和第三半导体 材料包括光学钝态材料而第二半导体材料包括光学活性材料，要被感 测的物质(30)能够改变来自第二子区(2)的电磁辐射(E)的特性 并且半导体传感器装置(10)形成为使得其特性已被改变的电磁辐射 (E)能够到达检测器(50)。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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