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一种增加变形梁强度和使用寿命的结构及其应用
| 专利名称： | 一种增加变形梁强度和使用寿命的结构及其应用 |
| 摘要： | 本发明涉及一种增加变形梁强度和使用寿命的结构及其应用，属于微电 子机械系统(MEMS)领域。其特征在于在梁与支撑端的连接处增加转角， 使梁与支撑端的夹角都是钝角。这种支撑端连接处带有转角的梁，在梁发生 形变时可以有效地减小形变在支撑端产生的应力，既增加了梁的强度也延长 了梁的使用寿命。本发明可应用于多种带有变形梁的MEMS器件中。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 发明人： | 许 磊;李 铁;王 翊;王跃林 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-15T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910051291.6 |
| 公开号： | CN101559913 |
| 代理机构： | 上海智信专利代理有限公司 |
| 代理人： | 潘振甦 |
| 分类号： | B81B3/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 200050上海市长宁区长宁路865号 |
| 主权项： | 1、一种增强变形梁强度和使用寿命的结构，其特征在于增加梁与支撑端 连接处的宽度，形成一个加固的转角，使悬梁结构与支撑梁连接处的夹角为 顿角。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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