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一种晶体生长表面微结构的实时观测方法
| 专利名称： | 一种晶体生长表面微结构的实时观测方法 |
| 摘要： | 本发明涉及溶液法晶体生长过程表面微结构在三维方向上的实时 定量测试分析技术领域，属于一种利用激光数字移相干涉系统装置实 时观测水溶性晶体、有机晶体生长表面微结构的方法，引入菲索干涉 仪在干涉光路中，将菲索干涉仪中的两个参考平面镜之一替换为正在 生长的晶体表面，使经参考平面镜和生长晶体表面反射的激光发生干 涉，使干涉条纹中包含晶体生长表面的信息，再利用移相干涉方法提 取出晶体生长表面结构信息，然后通过计算机软件计算分析得到晶体 生长表面的等高图和三维透视图实现实时观测，其工作原理简单可 靠，所用设备自动化程度高，实时观测效果好，特别是可以将晶体生 长过程全方位转换成显示信息，形象直观性强。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 青岛大学 |
| 发明人： | 钟德高;滕 冰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-23T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910015472.3 |
| 公开号： | CN101561401 |
| 代理机构： | 青岛高晓专利事务所 |
| 代理人： | 于正河 |
| 分类号： | G01N21/84(2006.01)I |
| 申请人地址： | 266071山东省青岛市宁夏路308号 |
| 主权项： | 1、一种晶体生长表面微结构的实时观测方法，其特征在于引入 菲索干涉仪在干涉光路中，将菲索干涉仪中的两个参考平面镜之一替 换为正在生长的晶体表面，使经参考平面镜和生长晶体表面反射的激 光发生干涉，使干涉条纹中包含晶体生长表面的信息，再利用移相干 涉方法提取出晶体生长表面结构信息，然后通过计算机软件计算分析 得到晶体生长表面的等高图和三维透视图；实现实时观测的系统装置 包括移相数字波面干涉仪和晶体生长装置两部分；其中移相数字波面 干涉仪选用菲索型卧式移相数字波面干涉仪并采用He-Ne激光器，其 准直光束口径为Ф60mm；光学质量λ/20(P-V)；光路切换采用调整 与测试之间为电控切换；参考平面镜上装有压电陶瓷驱动器的等厚干 涉仪；移相干涉采用光电定量探测方法，对多幅静态干涉图采样，经 图像采集卡将光强干涉图转化为数字干涉图，由计算机按照移相干涉 的数学物理模型复原波面，输出波面的面形偏差或光程差、峰谷值和 标准偏差，并绘出波面二维等面图、三维立体图及测试干涉图像；晶 体生长装置为小型溶液晶体生长装置，采用空气浴红外灯加热，温控 仪控温精度为0.1℃；生长晶体放置在调节架上；籽晶架用有机玻璃 制作，在生长缸一侧开制尺寸为Ф60mm圆形窗口并对准干涉仪的光路 口，窗口用Ф80mm×14mm的圆形平板石英玻璃密封，平板石英玻璃的 平面度λ/20，平行度1’以内，光洁度40/20。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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