专利名称: |
一种监测镀件表面金属镀层厚度的方法 |
摘要: |
一种监测镀件表面金属镀层厚度的方法,该方法包括用X射线能谱仪采
集镀件表面的能谱图,根据该能谱图中是否出现所述表面金属镀层不含有的
元素的特征峰和入射电子束的条件,监测镀件表面金属镀层厚度。本发明利
用扫描电子显微镜-X射线能谱仪的方法可以对微小的区域和毫米级镀件进
行表面镀层厚度的监测。由于能谱仪具有定性测试功能,也能对合金镀层进
行监测,还能对镀层的元素进行定性分析,所以能分析盲样的镀层物质。使
用该方法监测镀层厚度不需要破坏样品,而且监测结果准确可靠。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
比亚迪股份有限公司 |
发明人: |
李高贵;罗 君 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2008-05-08T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200810097501.0 |
公开号: |
CN101576381 |
代理机构: |
北京润平知识产权代理有限公司 |
代理人: |
王 崇;王凤桐 |
分类号: |
G01B15/02(2006.01)I |
申请人地址: |
518118广东省深圳龙岗区坪山镇横坪公路3001号 |
主权项: |
1、一种监测镀件表面金属镀层厚度的方法,其中,所述镀件包括基材
和表面金属镀层,或者包括基材、表面金属镀层和次外层,其特征在于,与
所述表面金属镀层相邻的基材或次外层含有表面金属镀层不含有的元素,该
方法包括用入射电子束轰击镀件表面,并用X射线能谱仪采集镀件表面的能
谱图,根据该能谱图中是否出现所述表面金属镀层不含有的元素的特征峰和
入射电子束的条件,监测镀件表面金属镀层的厚度。 |
所属类别: |
发明专利 |