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原文传递压痕检查装置及其方法

专利名称：	压痕检查装置及其方法
摘要：	本发明涉及一种压痕检查装置及其方法。更具体地说，本发明涉及一种压痕检查装置及其方法，用于快速而精确地选择用于压痕检查的检查区域，以及用于快速而精确地确定是否有正常压痕。为此，依据本发明的压痕检查装置包括：工作台，用于固定其上存在压痕的基板；显微镜，位于所述工作台上方，用于观察所述基板的下侧；照相机，与所述显微镜相连，用于获得通过所述显微镜观察的所述基板的下侧的图像数据；检查区域选择部分，用于从所述照相机接收所获得的图像数据，以从所获得的图像数据中选择用于压痕检查的压痕检查区域；和压痕检测部分，用于检测所述检查区域内具有预定形状的边界的各检测区域中每一个检测区域中的亮度分布信息，以根据所检测的亮度分布信息检测压痕指数。
专利类型：	发明专利
申请人：	胜利科技股份有限公司
发明人：	许玟硕;孙暎卓
专利状态：	有效
申请日期：	2008-08-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810146791.3
公开号：	CN101587083
代理机构：	北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人：	徐金国
分类号：	G01N21/956(2006.01)I
申请人地址：	韩国庆尚北道龟尾市
主权项：	1.一种压痕检查装置，包括：工作台，用于固定一基板，在该基板上存在压痕；显微镜，位于所述工作台的上方，用于观察所述基板的下侧；照相机，与所述显微镜相连，用于获得通过所述显微镜观察的所述基板的下侧的图像数据；检查区域选择部分，用于从所述照相机接收所获得的图像数据，从该所获得的图像数据中选择需要用来检查压痕的检查区域；压痕检测部分，用于检测所述检查区域内具有预定形状的边界的各检测区域中每一个检测区域中的亮度分布信息，以根据所检测的亮度分布信息检测压痕指数。
所属类别：	发明专利