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一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用
| 专利名称： | 一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用，属于微纳 米传感器领域。即在悬臂梁的自由末端附近通过选择性阳极氧化方法 在氢氟酸溶液内形成多孔硅结构。利用该多孔硅区域增大的比表面结 构，在硅孔内壁上自组装大量特异性识别的具有硅氧头基和特异性尾 基的线性聚合物或超枝化聚合物敏感分子，可以特异性俘获大量的被 检测化学分子以积累较大的被测物俘获质量。本发明的一种硅悬臂梁 传感器结构简单、制作方便、容易实现，可以应用在痕量化学气体检 测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 上海应用技术学院 |
| 发明人： | 郑 丹;李文琼;袁联群;董 瑾;郭 强 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-06-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910053797.0 |
| 公开号： | CN101592578 |
| 代理机构： | 上海申汇专利代理有限公司 |
| 代理人： | 吴宝根 |
| 分类号： | G01N5/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 200235上海市徐汇区漕宝路120号 |
| 主权项： | 1、一种硅悬臂梁传感器，包括硅微机械谐振的悬臂梁(5)，扫描探 针显微镜(SPM)设备内置的压电驱动器(4)，硅微机械谐振的 悬臂梁(5)通过悬臂梁的衬底基座固定在扫描探针显微镜(SPM) 设备内置的压电驱动器(谐振驱动装置)(4)上，由谐振驱动装 置的振动形成悬臂梁(5)的谐振，其特征在于在硅微机械悬臂 梁(5)谐振敏感结构末端选择性集成制作穿通悬臂梁的孔径为 100～800nm、孔隙率为20％～60％的多孔硅区域(6)，多孔硅区 域(6)上表面自组装及修饰的敏感材料分子(3)，用来特异性 吸附被检测分子(8)；扫描探针显微镜(SPM)设备内置的检测 入射激光束(1)照射在悬臂梁上表面多孔硅以外区域的金薄膜 (7)上，悬臂梁金表面反射光(2)反射至扫描探针显微镜(SPM) 设备内置的光偏转检测器上，完成谐振信号的检测。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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