原文传递
针迹检查装置、探测装置、和针迹检查方法
| 专利名称： | 针迹检查装置、探测装置、和针迹检查方法 |
| 摘要： | 本发明提供能够对检查之后的基板自动且高精度地检测电极垫的 基地层的露出的有无等的露出状况的针迹检查装置、具有该装置的探 测装置、和针迹检查方法，该针迹检查装置包括：取得从R成分数据 (D2)、G成分数据(D3)和B成分数据(D4)中，根据电极垫(2) 的材质与基底层(6)的材质的反射率的差而被选择的B成分数据(D4) 的RGB成分取得部(50)；和对于B成分数据(D4)，为了与电极垫 (2)区别开地取得基底层(6)的图像，求取被设定的灰度级与具有 该灰度级的像素数的关系数据的B成分直方图取得部(52)，根据求得 的直方图，判定针迹(10)中基底层(6)的露出的有无。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 梅原康敏;月嶋慎;河野功;佐野聪 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910145228.9 |
| 公开号： | CN101593714 |
| 代理机构： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | H01L21/66(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 1.一种针迹检查装置，其在使探针与被检查基板上的电极垫接触 而进行电测量之后，对在所述电极垫上形成的针迹进行摄像，检查电 极垫的基底层的露出的有无，该针迹检查装置的特征在于，包括： 取得从作为彩色成分的R成分、G成分和B成分中根据电极垫的 材质与基底层的材质的反射率的差而被选择的彩色成分的图像数据的 机构； 从通过该机构取得的图像数据，为了与电极垫区别开地取得基底 层的图像，求取被设定的灰度级与具有该灰度级的像素数的关系数据 的机构；和 基于通过该机构求得的关系数据，判定针迹中的基底层的露出的 有无的机构。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
