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原文传递检查装置和检查方法

专利名称：	检查装置和检查方法
摘要：	提供一种能够高精度地检查工件的检查技术，该工件具有为绕对称轴旋转对称的形状且周期性反复地设置有凸部和凹部的外周部。具备：保持台，其一边保持工件一边在使对称轴与旋转轴一致的状态下使工件绕旋转轴旋转；顶端拍摄机构，其拍摄旋转着的工件的凸部的顶端；上游拍摄机构，其拍摄上游壁面，该上游壁面从在工件的旋转方向上与凸部的上游侧相邻的凹部的底部连至凸部的顶端；下游拍摄机构，其拍摄下游壁面，该下游壁面从在旋转方向上与凸部的下游侧相邻的凹部的底部连至凸部的顶端；以及检查部，其基于由顶端拍摄机构、上游拍摄机构以及下游拍摄机构拍摄的图像检查工件。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社斯库林集团
发明人：	作山努;大槻祥平
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201780081142.7
公开号：	CN110168354A
代理机构：	北京市金杜律师事务所
代理人：	陈伟;沈静
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府
主权项：	1.一种检查装置，对工件进行检查，该工件具有为绕对称轴旋转对称的形状且周期性反复地设置有凸部和凹部的外周部，该检查装置的特征在于，具备：保持台，其一边保持所述工件一边在使所述对称轴与旋转轴一致的状态下使所述工件绕所述旋转轴旋转；顶端拍摄机构，其拍摄旋转着的所述工件的所述凸部的顶端；上游拍摄机构，其拍摄上游壁面，该上游壁面从在所述工件的旋转方向上与所述凸部的上游侧相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的顶端；下游拍摄机构，其拍摄下游壁面，该下游壁面从在所述旋转方向上与所述凸部的下游侧相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的顶端；以及检查部，其基于由所述顶端拍摄机构、所述上游拍摄机构以及所述下游拍摄机构拍摄到的图像检查所述工件。 2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述顶端拍摄机构从所述工件的径向外侧拍摄所述凸部的顶端，所述上游拍摄机构从所述上游壁面通过所述工件的旋转而描绘的上游侧轨迹的切线方向外侧拍摄所述上游壁面，所述下游拍摄机构从所述下游壁面通过所述工件的旋转而描绘的下游侧轨迹的切线方向外侧拍摄所述下游壁面。 3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，所述上游拍摄机构具有上游拍摄部，该上游拍摄部使上游焦点位置位于所述上游侧轨迹上来拍摄所述上游壁面。 4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，所述上游拍摄机构具有多个所述上游拍摄部，多个所述上游拍摄部在所述旋转轴的轴向上配置于互不相同的位置，以相对于所述上游焦点位置互不相同的角度进行拍摄。 5.根据权利要求3或4所述的检查装置，其特征在于，所述上游拍摄机构具有上游转动部，该上游转动部以所述上游焦点位置为转动中心而沿着所述工件的旋转方向转动。 6.根据权利要求2至5中任一项所述的检查装置，其特征在于，所述下游拍摄机构具有下游拍摄部，该下游拍摄部使下游焦点位置位于所述下游侧轨迹上来拍摄所述下游壁面。 7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，所述下游拍摄机构具有多个所述下游拍摄部，多个所述下游拍摄部在所述旋转轴的轴向上配置于互不相同的位置，以相对于所述下游焦点位置互不相同的角度进行拍摄。 8.根据权利要求6或7所述的检查装置，其特征在于，所述下游拍摄机构具有下游转动部，该下游转动部以所述下游焦点位置为转动中心而沿着所述工件的旋转方向转动。 9.根据权利要求2至8中任一项所述的检查装置，其特征在于，所述顶端拍摄机构具有多个对所述凸部的顶端进行拍摄的顶端拍摄部，多个所述顶端拍摄部在所述旋转轴的轴向上配置于互不相同的位置，以互不相同的角度拍摄所述凸部的顶端。 10.根据权利要求2至9中任一项所述的检查装置，其特征在于，所述上游拍摄机构和所述下游拍摄机构隔着所述工件配置于所述顶端拍摄机构的相反侧。 11.一种检查方法，对工件进行检查，该工件具有为绕对称轴旋转对称的形状且周期性反复地设置有凸部和凹部的外周部，该检查方法的特征在于，具备如下工序：一边保持所述工件一边在使所述对称轴与旋转轴一致的状态下使所述工件绕所述旋转轴旋转，同时利用顶端拍摄机构拍摄所述工件的所述凸部的顶端而取得顶端图像，利用上游拍摄机构拍摄上游壁面而取得上游壁面图像，利用下游拍摄机构拍摄下游壁面而取得下游壁面图像的工序，该上游壁面从在所述工件的旋转方向上与所述凸部的上游侧相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的顶端，该下游壁面从在所述旋转方向上与所述凸部的下游侧相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的顶端；以及基于所述顶端图像、所述上游壁面图像以及所述下游壁面图像检查所述工件的工序。
所属类别：	发明专利