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原文传递用于测量超纯水的纯度的装置

专利名称：	用于测量超纯水的纯度的装置
摘要：	本发明提供一种装置，用于分析净化装置的出口处的液体例如超纯水中存在的有机化合物的量，所述净化装置连续包括过滤装置(1)、氧化装置(2)和抛光装置(3)，还包括用于测量水的电阻率以确定其纯度的装置，其特征在于，它包括仅一个电阻率测量传感器(4)，并且所述过滤装置(1)和所述氧化装置(2)的出口点通过管道连接到所述电阻率测量传感器(4)，所述管道设置有分析阀(6)和/或单向阀(5)，所述阀选择性地使得所述液体在它们内部循环。
专利类型：	发明专利
申请人：	米利波尔公司
发明人：	P·拉贾戈帕蓝;A·范海赫;C·勒尼尼温;A·迪米特拉科普洛斯
专利状态：	有效
申请日期：	2009-06-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200910141397.5
公开号：	CN101598694
代理机构：	永新专利商标代理有限公司
代理人：	郝文博;王琼
分类号：	G01N27/07(2006.01)I
申请人地址：	美国马萨诸塞州
主权项：	1.一种装置，用于分析净化装置的出口处的液体例如超纯水中存在的有机化合物的量，其连续地包括过滤装置(1)、氧化装置(2)和抛光装置(3)，还包括用于测量水的电阻率以确定其纯度的装置(4)，其特征在于，所述测量装置仅包括一个电阻率测量传感器(4)，并且设置有连接装置和流体循环控制装置，适用于： -防止流体在过滤装置(1)的出口点(12)和氧化装置(2)的入口点(21)之间循环，同时允许流体在过滤装置(1)的出口点(12) 和电阻率测量传感器(4)的入口点(41)之间循环，或者 -允许流体在过滤装置(1)的出口点(12)和氧化装置(2)的入口点(21)之间循环，同时阻止流体在过滤装置(1)的出口点(12) 和电阻率测量传感器(4)的入口点(41)之间循环。
所属类别：	发明专利