专利名称: |
方形靶材的取样方法和检测方法 |
摘要: |
一种方形靶材的取样方法和检测方法,所述方形靶材的检测方法包括:
提供方形靶材;在所述靶材的厚度方向分层取样,在所述靶材的长宽方向按
边心边取样;对各样本进行金相观察。所述方法由于截取的样本可以反映不
同位置的特征,这样就能够获取整个靶材的组织结构信息,很好地实现了对
大尺寸方形靶材的检测。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
浙江;33 |
申请人: |
宁波江丰电子材料有限公司 |
发明人: |
姚力军;潘 杰;王学泽;陈勇军;刘 庆 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2009-06-25T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200910149514.2 |
公开号: |
CN101603886 |
代理机构: |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人: |
吴靖靓;李 丽 |
分类号: |
G01N1/04(2006.01)I |
申请人地址: |
315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 |
主权项: |
1.一种方形靶材的取样方法,其特征在于,包括:
提供方形靶材;
在所述靶材的厚度方向分层取样,在所述靶材的长宽方向按边心边取样。 |
所属类别: |
发明专利 |