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原文传递方形靶材的取样方法和检测方法

专利名称：	方形靶材的取样方法和检测方法
摘要：	一种方形靶材的取样方法和检测方法，所述方形靶材的检测方法包括：提供方形靶材；在所述靶材的厚度方向分层取样，在所述靶材的长宽方向按边心边取样；对各样本进行金相观察。所述方法由于截取的样本可以反映不同位置的特征，这样就能够获取整个靶材的组织结构信息，很好地实现了对大尺寸方形靶材的检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	宁波江丰电子材料有限公司
发明人：	姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆
专利状态：	有效
申请日期：	2009-06-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200910149514.2
公开号：	CN101603886
代理机构：	北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：	吴靖靓;李丽
分类号：	G01N1/04(2006.01)I
申请人地址：	315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号
主权项：	1.一种方形靶材的取样方法，其特征在于，包括：提供方形靶材；在所述靶材的厚度方向分层取样，在所述靶材的长宽方向按边心边取样。
所属类别：	发明专利