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大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置
| 专利名称： | 大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置。采用 压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的 样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、 压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对 大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成 像及反馈控制系统。本发明的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围 检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪 问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保 持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江大学 |
| 发明人： | 张冬仙;谢志刚;章海军 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-07-13T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910100818.X |
| 公开号： | CN101603911 |
| 代理机构： | 杭州求是专利事务所有限公司 |
| 代理人： | 张法高 |
| 分类号： | G01N13/16(2006.01)I |
| 申请人地址： | 310027浙江省杭州市浙大路38号 |
| 主权项： | 1.一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法，其特征在于采用样品固 定、微探针扫描的方法，引入一个随扫描器一起扫描的一小透镜，其XY扫描 移动量与微探针始终一样，即微探针始终位于小透镜的焦点处，在大范围扫描 过程中，通过小透镜聚焦而成的激光光斑也始终对准微悬臂，从而有效地实现 了光路的跟踪，在光电探测器前的另一小透镜，既避免了Z向反馈造成的系统 误差，又同时保持了光束偏转法的高灵敏度及高分辨率，从而实现大范围高精 度的Z向反馈控制和大范围高分辨率的XY扫描成像，采用开放式的样品台和 二维步进电机，实现大型超精密工件样品的任意区域大范围扫描检测。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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