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原文传递薄膜吸收多通道测量装置

专利名称：	薄膜吸收多通道测量装置
摘要：	一种应用于大口径激光薄膜的薄膜吸收多通道测量装置，该装置由激励激光器、探测激光器、激励光衰减器、第一电子快门、激励光透镜组、探测光衰减器、反射镜、第二电子快门探测光衰减器、探测光透镜组、样品夹具、步进电机、滤波片、聚焦透镜、面阵CCD相机、快门驱动器、图像采集卡、数据卡以及计算机组成，本实用新型具有测量准确、快速、高效、运行稳定和数据处理自动化的特点。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人：	陶春先;赵元安;柯立公;贺洪波;李大伟;刘晓凤;张蕾
专利状态：	有效
申请日期：	2008-12-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200820157001.7
公开号：	CN201322722
代理机构：	上海新天专利代理有限公司
代理人：	张泽纯
分类号：	G01N21/17(2006.01)I
申请人地址：	201800上海市800-211邮政信箱
主权项：	1、一种应用于大口径激光薄膜的薄膜吸收多通道测量装置，其特征在于该装置由激励激光器(1)、探测激光器(2)、激励光衰减器(4)、第一电子快门(5)、激励光透镜组(6)、探测光衰减器(7)、反射镜(8)、第二电子快门(9)探测光衰减器(7)、探测光透镜组(10)、样品夹具 (11)、步进电机(12)、滤波片(13)、聚焦透镜(14)、面阵CCD相机 (15)、快门驱动器(16)、图像采集卡(19)、数据卡(20)以及计算机 (17)组成，上述各部件的位置关系如下：步进电机(12)驱动所述的样品夹具(11)，该样品夹具(11)用于放置待测的薄膜样品；激励光路，包括激励激光器(1)，由该激励激光器(1)发出的激励激光束依次经激励光衰减器(4)、第一电子快门(5)、激励光透镜组(6) 垂直照射在所述的薄膜样品的表面形成激励光斑；探测光路，包括探测激光器(2)，由该探测激光器(2)发出的探测激光束依次经探测光衰减器(7)、反射镜(8)、第二电子快门(9)、探测光透镜组(10)扩束后倾斜地入射到所述的薄膜样品表面形成探测光斑，该探测光斑的中心与所述的激励光斑的中心重合；由所述的薄膜样品表面反射的探测光束经滤波片(13)、聚焦透镜 (14)后在面阵CCD相机(15)上成像；所述的面阵CCD相机(15)的输出端接计算机(17)的输入端，所述的图像采集卡(19)和数据卡(20)插在该计算机(17)内的插槽中，该计算机(17)的输出端经快门驱动器(16)分别与所述的第一电子快门(5)和第二电子快门(9)的控制端相连，该计算机(17)的另一输出端接所述的步进电机(12)的控制端。
所属类别：	实用新型