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原文传递自动光学检测装置

专利名称：	自动光学检测装置
摘要：	一种自动光学检测装置，其包括基座、第一支架、至少一个缺陷扫描单元、第二支架以及至少一个缺陷影像获取单元。第一支架跨接在基座的两侧。缺陷扫描单元设置在第一支架上，用来检测出基板上的至少一处缺陷并且输出该缺陷的坐标。第二支架也跨接在基座的两侧。缺陷影像获取单元设置在第二支架上，用来根据前述坐标获取缺陷的影像。此外，第一支架和/或第二支架可以移动。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	台湾;TW
申请人：	晶彩科技股份有限公司
发明人：	叶东益
专利状态：	有效
申请日期：	2008-12-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200820129801.8
公开号：	CN201352202
代理机构：	北京泛诚知识产权代理有限公司
代理人：	文琦;陈波
分类号：	G01N21/88(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾新竹县
主权项：	1.一种自动光学检测装置，其包括：一基座；一第一支架，其跨接于所述基座的两侧；至少一个缺陷扫描单元，其设置于所述第一支架上，用来检测出所述基板上的至少一处缺陷并且输出该缺陷的坐标；一第二支架，其跨接于所述基座的两侧；以及至少一个缺陷影像获取单元，其设置于所述第二支架上，用来根据所述坐标获取所述缺陷的影像，其中所述第一支架和/或所述第二支架是可移动的。
所属类别：	实用新型