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原文传递自动光学检测方法

专利名称：	自动光学检测方法
摘要：	本发明提供一种自动光学检测方法，用于检测被检测对象的表面缺陷。所述自动光学检测方法包括：通过至少两种照明系统对被检测对象进行照明，分别在各种照明系统下，通过探测器采集被检测对象的图像信息，再通过计算机对采集的图像信息进行分析，以得到被检测对象的表面缺陷信息，并通过计算机保存所述表面缺陷信息，其中，通过计算机保存至少在一种照明系统下采集的图像信息；通过计算机对所有的表面缺陷信息进行整合，以合并重复的表面缺陷信息。本发明提供一种自动光学检测方法可有效提高检测效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人：	王帆;陆海亮;张凯
专利状态：	有效
申请号：	CN201710653164.8
公开号：	CN109387518A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：	屈蘅;李时云
分类号：	G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201203 上海市浦东新区张东路1525号
主权项：	1.一种自动光学检测方法，用于检测被检测对象的表面缺陷，其特征在于，包括：通过至少两种照明系统对被检测对象进行照明，分别在各种照明系统下，通过探测器采集被检测对象的图像信息，再通过计算机对采集的图像信息进行分析，以得到被检测对象的表面缺陷信息，并通过计算机保存所述表面缺陷信息，其中，通过计算机保存至少在一种照明系统下采集的图像信息；通过计算机对所有的表面缺陷信息进行整合，以合并重复的表面缺陷信息。
所属类别：	发明专利