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原文传递光学检测设备及光学检测方法

专利名称：	光学检测设备及光学检测方法
摘要：	本发明提供一种光学检测设备及光学检测方法。光学检测设备包括载台、图像获取装置及除尘装置。载台适于承载待测物。图像获取装置适于获取载台上的待测物的图像，以检测待测物。除尘装置连接于图像获取装置而适于随着该图像获取装置相对于待测物移动，且适于往载台上的待测物提供除尘气流。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	由田新技股份有限公司
发明人：	邹嘉骏;江宏伟;赖宪平
专利状态：	有效
申请日期：	2018-01-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201810000835.5
公开号：	CN109799236A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	马雯雯;臧建明
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	中国台湾新北市中和区连城路268号10楼之1
主权项：	1.一种光学检测设备，包括：载台，适于承载待测物；图像获取装置，适于获取所述载台上的所述待测物的图像，以检测所述待测物；以及除尘装置，连接于所述图像获取装置而适于随着所述图像获取装置相对于所述待测物移动，且适于往所述载台上的所述待测物提供除尘气流。 2.根据权利要求1所述的光学检测设备，其中所述图像获取装置及所述除尘装置相互固定且适于同步地移动。 3.根据权利要求1所述的光学检测设备，还包括支架及光源，其中所述除尘装置与所述载台之间的距离小于所述图像获取装置与所述载台之间的距离，所述支架连接于所述图像获取装置且往所述载台延伸，所述光源配置于所述支架的末端且适于往所述载台上的所述待测物提供光束，所述除尘装置配置于所述支架的所述末端。 4.根据权利要求3所述的光学检测设备，其中所述除尘装置适于沿方向提供所述除尘气流，所述方向平行于所述光源的光轴。 5.根据权利要求1所述的光学检测设备，其中所述除尘装置具有开口且适于从所述开口提供所述除尘气流，当所述图像获取装置对位于所述载台上的所述待测物的区域时，所述开口朝向所述载台上的所述待测物的所述区域。 6.根据权利要求1所述的光学检测设备，其中所述除尘装置适于沿方向提供所述除尘气流，所述方向倾斜于所述图像获取装置的光轴。 7.一种光学检测方法，包括：通过载台承载待测物；提供图像获取装置及除尘装置；驱动所述除尘装置随着所述图像获取装置相对于所述待测物移动；通过所述图像获取装置获取所述载台上的所述待测物的图像，以检测所述待测物；以及通过所述除尘装置往所述载台上的所述待测物提供除尘气流。 8.根据权利要求7所述的光学检测方法，包括：驱动所述图像获取装置及所述除尘装置同步地移动；以及使所述除尘装置与所述载台之间的距离小于所述图像获取装置与所述载台之间的距离。 9.根据权利要求7所述的光学检测方法，包括：从所述除尘装置的开口提供所述除尘气流；以及当所述图像获取装置对位于所述载台上的所述待测物的区域时，使所述开口朝向所述载台上的所述待测物的所述区域。 10.根据权利要求7所述的光学检测方法，包括：通过所述除尘装置沿方向提供所述除尘气流，其中所述方向倾斜于所述图像获取装置的光轴；通过光源往所述载台上的所述待测物提供光束；以及通过所述除尘装置沿方向提供所述除尘气流，其中所述方向平行于所述光源的光轴。
所属类别：	发明专利