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原文传递光学检测系统及光学检测装置

专利名称：	光学检测系统及光学检测装置
摘要：	本发明公开了光学检测系统及光学检测装置，其中，光学检测系统包括：承载台，照明单元，用于向待测物出射入射光束，沿入射光束的传输路径照明单元包括依次设置的光源模块、变光模块和物镜；变光模块包括遮光板，遮光板用于将进入物镜前的入射光束衍射形成环形入射光；成像单元，用于采集待测物的图像，沿出射光束的传输路径成像单元包括依次设置的物镜、滤光器、聚光透镜和图像采集模块；滤光器用以在出射光束进入图像采集模块前滤掉出射光束中的反射光。本发明无需在显微检测设备的侧向设置暗场光源，避免了对光学检测装置侧向空间的占用，可以实现高功率光源的配备，提升暗场成像效果。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州华兴源创科技股份有限公司
发明人：	赵迪迪;李小虎;李永杰;熊星;潘铁伟
专利状态：	有效
申请日期：	2022-05-06T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202210488175.6
公开号：	CN117054421A
代理机构：	苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	段友强
分类号：	G01N21/88;G01N21/01;G01J3/28;G;G01;G01N;G01J;G01N21;G01J3;G01N21/88;G01N21/01;G01J3/28
申请人地址：	215000 江苏省苏州市工业园区青丘巷8号
主权项：	1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：承载台，用于承载待测物；照明单元，用于向待测物出射入射光束，沿入射光束的传输路径所述照明单元包括依次设置的光源模块、变光模块和物镜；所述变光模块包括遮光板，所述遮光板用于将进入所述物镜前的入射光束衍射形成环形入射光；成像单元，用于接收待测物反射的出射光束并采集待测物的图像，沿出射光束的传输路径所述成像单元包括依次设置的所述物镜、滤光器、聚光透镜和图像采集模块；所述滤光器用以在出射光束进入图像采集模块前滤掉出射光束中的反射光；所述聚光透镜用以将出射光束聚焦在所述图像采集模块上。 2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于：所述滤光器包括光阑，所述光阑具有光阑本体和形成在光阑本体上的若干不同尺寸圆形透光孔，所述光阑本体用于阻挡出射光束中的反射光，所述圆形透光孔的尺寸不大于所述遮光板的尺寸，若干圆形透光孔沿所述光阑本体的周向排布。 3.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于：所述变光模块还具有承载盘和设置在所述承载盘上的圆形穿孔，所述遮光板定位在所述圆形穿孔的中心位置并固定在所述承载盘上，且所述遮光板的直径小于所述圆形穿孔的尺寸以在所述遮光板与所述承载盘之间形成环形缝隙。 4.根据权利要求3所述的光学检测系统，其特征在于：所述遮光板设置有多个并具有不同的尺寸，所述承载盘上设置有若干不同尺寸的圆形穿孔，每一所述圆形穿孔内均设置有相适配的遮光板。 5.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于：所述成像单元还具有设置在所述滤光器与所述物镜之间的中继系统，所述中继系统包括在出射光束的传输路径上依次设置的第一凸透镜和第二凸透镜，且所述第一凸透镜的一焦点与所述第二凸透镜的一焦点位置重合。 6.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于：所述光学检测系统还具有同时位于入射光束的传输路径和出射光束的传输路径上的分光模块，所述分光模块用以反射部分入射光束至所述物镜并透射部分出射光束至所述图像采集模块；或所述分光模块用以透射部分入射光束至所述物镜并反射部分出射光束至所述图像采集模块。 7.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于：所述光学检测系统还具有对焦单元，所述对焦单元包括激光自动对焦模块和所述物镜，激光自动对焦模块透过所述物镜向所述承载台发射对焦激光，所述对焦单元还具有对焦分光模块，所述对焦分光模块同时位于入射光束的传输路径和对焦激光的传输路径上；所述对焦分光模块用以反射部分入射光束至所述物镜并透射部分对焦激光至所述物镜；或所述对焦分光模块用以反射部分对焦激光至所述物镜并透射部分入射光束至所述物镜。 8.一种光学检测装置，其特征在于：包括：如权利要求1至7任一项所述的光学检测系统；当所述遮光板位于入射光束的传输路径时，进入所述物镜前的入射光束被衍射形成暗场检测光束；当所述遮光板移出入射光束的传输路径时，进入所述物镜前的入射光束形成明场检测光束；所述成像单元，还用于接收待测物反射的明场出射光束并采集待测物的明场图像，且在采集明场图像时，所述聚光模块用以将从物镜入射来的明场出射光束聚焦在所述图像采集模块上；在采集暗场图像时，在所述聚光透镜与所述物镜之间设置所述滤光器，所述聚光透镜用以将暗场出射光束中未被所述滤光器滤的漫反射光聚焦在所述图像采集模块上。 9.根据权利要求8所述的光学检测装置，其特征在于：所述变光模块还具有多个不同尺寸的明场透光孔，在所述遮光板移出入射光束的传输路径时，所述明场透光孔位于入射光束的传输路径，所述变光模块具有承载盘，所述遮光板和所述明场透光孔均设置在所述承载盘上，且所述遮光板和所述明场透光孔沿所述承载盘的周向排布。 10.根据权利要求8所述的光学检测装置，其特征在于：所述图像采集模块包括用于采集明场图像的明场图像采集器和用于采集暗场图像的暗场图像采集器，所述聚光透镜包括设置在所述明场图像采集器前侧的明场聚光透镜和设置在暗场图像采集器前侧的暗场聚光透镜；在采集明场图像时，从物镜出射的明场出射光束沿明场成像光路经过明场聚光透镜到达明场图像采集器；在采集暗场图像时，从物镜出射的暗场出射光束沿暗场成像光路依次经过所述滤光器和所述暗场聚光透镜到达所述暗场图像采集器。 11.根据权利要求10所述的光学检测装置，其特征在于：所述成像单元还具有同时位于明场出射光束的传输路径和暗场出射光束的传输路径上的成像分光模块；在采集明场图像时，所述成像分光模块用以透射部分明场出射光束至所述明场图像采集器；并在采集暗场图像时，所述成像分光模块用以反射部分暗场出射光束至所述暗场图像采集器；或在采集明场图像时，所述成像分光模块用以反射部分明场出射光束至所述明场图像采集器；并在采集暗场图像时，所述成像分光模块用以透射部分暗场出射光束至所述暗场图像采集模块。 12.根据权利要求11所述的光学检测装置，其特征在于：所述明场图像采集器和暗场图像采集器并列设置，所述成像单元还具有设置在所述暗场成像光路上的反射镜，从成像分光模块出射的暗场出射光束朝与所述反射镜所在平面斜交45°的方向入射到所述反射镜上。
所属类别：	发明专利