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原文传递超高真空直线推动导入器

专利名称：	超高真空直线推动导入器
摘要：	本实用新型涉及真空设备。超高真空直线推动导入器，外筒一端装有后部板，另一端固定安装真空设备连接法兰，真空设备连接法兰置于外筒内的一端焊接波纹管，波纹管置于外筒内，且另一端焊接可动法兰，波纹管内装有导入棒，导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，导入棒另一端焊接在可动法兰端面，可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆，推动杆与后部板活动插接。本实用新型采用固定波纹管密封，使得直线驱动顺畅，密封性能佳，达到放出气体少的要求，手动驱动自由，超高真空环境中的直线驱动在大气侧通过外部推动杆直推驱动，速度快且便捷，直线驱动位置控制精确。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	大连齐维科技发展有限公司
发明人：	郭方准
专利状态：	有效
申请日期：	2009-02-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200920011033.0
公开号：	CN201355323
代理机构：	大连科技专利代理有限责任公司
代理人：	于忠晶
分类号：	G01N1/36(2006.01)I
申请人地址：	116023辽宁省大连市高新园区火炬路35号
主权项：	1、超高真空直线推动导入器，其特征是：外筒一端装有后部板，另一端固定安装真空设备连接法兰，真空设备连接法兰置于外筒内的一端焊接波纹管，波纹管置于外筒内，且另一端焊接可动法兰，波纹管内装有导入棒，导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，导入棒另一端焊接在可动法兰端面，可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆，推动杆与后部板活动插接。
所属类别：	实用新型