专利名称: | 基板浮起装置 |
摘要: | 本发明提供一种基板浮起装置,在该基板浮起装置中,利用简单的 结构对浮起板供给压力恒定的空气。基板浮起装置(10)具备:多个浮 起板(11),它们排出基板浮起用的空气;缓冲罐(12a),其暂时地贮存 对该多个浮起板(11)供给的空气;以及多个空气配管(13),它们从该 缓冲罐(12a)分别对多个浮起板(11)供给空气,其中,浮起板(11) 呈矩形瓦片状,并呈矩阵状排列,缓冲罐(12a)配置在用于配置多个浮 起板(11)的区域的下方,并且沿着浮起板(11)的排列方向(箭头D1、 D2)中的一个方向延伸,多个空气配管(13)利用实质上相同的长度将 缓冲罐(12a)和多个浮起板(11)之间连结起来。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 奥林巴斯株式会社 |
发明人: | 木内智一 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2009-07-28T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200910157418.2 |
公开号: | CN101643150 |
代理机构: | 北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人: | 党晓林 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京 |
主权项: | 1、一种基板浮起装置,所述基板浮起装置具备: 多个浮起板,它们排出基板浮起用的空气; 缓冲罐,其暂时地贮存对该多个浮起板供给的空气;以及 多个空气配管,它们从该缓冲罐分别对所述多个浮起板供给空气, 所述基板浮起装置的特征在于, 所述浮起板呈矩形瓦片状,并呈矩阵状排列, 所述缓冲罐配置在用于配置所述多个浮起板的区域的下方,并且沿 着所述浮起板的排列方向中的一个方向延伸, 所述多个空气配管以实质上相同的长度将所述缓冲罐和所述多个浮 起板之间连结起来。 |
所属类别: | 发明专利 |