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原文传递空气浮起式基板搬运装置

专利名称：	空气浮起式基板搬运装置
摘要：	空气浮起式基板搬运装置(1)具备：多个支撑部(3)，其在相对于搬运方向正交的方向上隔开规定的间隔而相互并列地配置，喷出空气而使基板(10)维持为浮起的状态；和搬运部(6)，其在搬运方向上运送向支撑部(3)的上方浮起的基板(10)。另外，空气浮起式基板搬运装置(1)具备驱动部(9)，所述驱动部(9)在使由搬运部(6)运送到规定的位置的基板(10)在向支撑部(3)的上方浮起的状态下，以基板(10)的中心为旋转中心旋转。在基板(10)在上述规定的位置旋转时的基板(10)的角部所通过的相邻的支撑部(3)彼此之间的位置的至少一部分，设有支撑基板(10)的滚珠轴承(14)。根据该构成，可以防止在基板(10)中发生破损或损伤并可以提高产品的成品率。
专利类型：	发明专利
申请人：	夏普株式会社;株式会社奥珂制作所
发明人：	川岸繁;池田泰人
专利状态：	有效
申请日期：	2010-07-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080034947.4
公开号：	CN102470998A
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本大阪府
所属类别：	发明专利