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空气浮起单元、运送方法以及空气浮起运送装置
| 专利名称： | 空气浮起单元、运送方法以及空气浮起运送装置 |
| 摘要： | 一种空气浮起运送装置，从配置在平面基板的下方的空气浮起单元喷 出空气，将平面基板浮起，并由送给机构向前方移送，其中，位于上述平 面基板的移送方向的前端的空气浮起单元的下游端附近设置增大上述平面 基板的浮起量的机构。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 神钢电机株式会社 |
| 发明人： | 铃木健介;北泽保良 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-02-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610004301.7 |
| 公开号： | CN1817767 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 李贵亮;杨 梧 |
| 分类号： | B65G51/03(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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