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空气浮抬运送装置和空气运送方法
| 专利名称： | 空气浮抬运送装置和空气运送方法 |
| 摘要： | 一种空气浮抬运送装置及空气运送方法，把形成平面基板(10)的运 送路的空气浮抬单元(1)朝向平面基板运送方向地配列成线状，把该空气 浮抬单元(1)的列并列配列多列。空气浮抬单元(1)包括有：形成平面 基板(10)的运送路的背面板(13)、位于与背面板(13)的运送路方向平 行的两侧面且具有向背面板(13)的中央部上方喷出空气的倾斜喷嘴(21) 的一对空气供给管(11、12)。因此，能够按照液晶基板等平面基板的大小 和重量灵活地构成，且能够在稳定的状态下运送平面基板。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 翔风技术有限公司 |
| 发明人： | 北泽保良;须田佳雅 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-11-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780042925.0 |
| 公开号： | CN101573280 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 陶凤波 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 1、一种空气浮抬运送装置，由形成平面基板运送路的多个空气浮抬单 元构成，从所述空气浮抬单元喷出空气来浮抬所述平面基板进行运送，其 特征在于， 把所述空气浮抬单元朝向所述平面基板运送方向配列成线状的空气浮 抬单元列并列配置多列， 且所述空气浮抬单元具备：从与平面基板运送方向正交的两侧方向向 所述平面基板的下面喷出空气的机构。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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