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基板运送装置和基板运送方法以及真空处理装置
| 专利名称： | 基板运送装置和基板运送方法以及真空处理装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板运送装置，该基板运送装置可在不增加高度方向的设置空间的情况下，增加水平方向的运送距离。叠置有基座板(71)和多个滑动板(72～74)的多段的滑动式的基板运送装置(70)按照下述方式构成：在为了进行载置于最上段的滑动板(74)的基板(G)的运送动作而多段叠置的基座板(71)和滑动板(72～73)的各个中，分别按照沿高度方向不妨碍的方式错开，形成开口部(71b)和开口部(72b～73b)，在其内部，收容有皮带轮(71c)、皮带轮(72c～73c)和皮带(71d)、皮带(72d～73d)等的滑 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 中山秀树 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-05-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410038397.X |
| 公开号： | CN1574271 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙淳 |
| 分类号： | H01L21/68 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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