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原文传递 基板运送装置
专利名称: 基板运送装置
摘要: 一种基板运送装置,包含一基台、数个叉架与数个结件。其中,叉架平行 设置于基台的侧面。而结件则分布于叉架上。采用本发明基板运送装置,可同 时完成多个基板的取放与运送作业。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 台湾;TW
申请人: 元太科技工业股份有限公司
发明人: 郑瑞忠
专利状态: 有效
申请日期: 2007-12-26T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200710305617.4
公开号: CN101468758
代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人: 梁 挥;祁建国
分类号: B65G49/06(2006.01)I
申请人地址: 台湾省新竹市科学工业园区力行一路3号
主权项: 1、一种基板运送装置,其特征在于,包含: 一基台; 数个叉架,平行设置于该基台的侧面;以及 数个结件,分布于该些叉架上。
所属类别: 发明专利
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