专利名称: | 基板运送装置 |
摘要: | 一种基板运送装置,包含一基台、数个叉架与数个结件。其中,叉架平行 设置于基台的侧面。而结件则分布于叉架上。采用本发明基板运送装置,可同 时完成多个基板的取放与运送作业。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 台湾;TW |
申请人: | 元太科技工业股份有限公司 |
发明人: | 郑瑞忠 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-12-26T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710305617.4 |
公开号: | CN101468758 |
代理机构: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人: | 梁 挥;祁建国 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 台湾省新竹市科学工业园区力行一路3号 |
主权项: | 1、一种基板运送装置,其特征在于,包含: 一基台; 数个叉架,平行设置于该基台的侧面;以及 数个结件,分布于该些叉架上。 |
所属类别: | 发明专利 |