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原文传递基板运送装置以及基板运送方法

专利名称：	基板运送装置以及基板运送方法
摘要：	一种基板运送装置，具有：单张运送基板的主输送器、从上述主输送器水平地分支的分支输送器、在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板(P)浮起且支承该基板(P)的支承部、在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化地交接被该支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。根据该基板运送装置，能够使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社IHI
发明人：	平田贤辅;水野智夫;村山晋
专利状态：	有效
申请日期：	2007-02-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780033188.8
公开号：	CN101512747
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	温大鹏
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1. 一种基板运送装置，具有：单张运送基板的主输送器、从上述主输送器水平地分支的分支输送器、在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板浮起而支承该基板的支承部、在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化地交接由该支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。
所属类别：	发明专利