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原文传递基板运送装置

专利名称：	基板运送装置
摘要：	本发明提供一种结构简单、可以小型化的运送装置，其不改变中心位置而可以调整保持基板的一对保持臂的间隔，使一对保持臂在保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间可以旋转。一对保持臂分别被可旋转地支撑于在运送方向上可移动地架装在底座上的一对臂支撑体上，在各保持臂在与运送方向大致为直角的水平方向上突出而保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间通过旋转装置使其旋转。通过臂支撑体接离装置使各臂支撑体在运送方向上向互为相反的方向连动地移动相等距离。通过运送移动装置使保持基板的一对臂支撑
专利类型：	发明专利
申请人：	富士机械制造株式会社
发明人：	矶贝武义;龟谷泰范
专利状态：	有效
申请日期：	2004-12-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410104560.8
公开号：	CN1654289
代理机构：	隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：	经志强;潘培坤
分类号：	B65G49/05
申请人地址：	日本爱知县知立市
所属类别：	发明专利