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原文传递基板运送装置以及基板运送方法

专利名称：	基板运送装置以及基板运送方法
摘要：	一种基板运送装置，具有：主输送器，单张运送基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；基板交接部，一边使上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，一边将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分支输送器交接至上述主输送器。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社IHI
发明人：	平田贤辅;水野智夫;村山晋
专利状态：	有效
申请日期：	2007-02-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780033198.1
公开号：	CN101512748
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	温大鹏
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1. 一种基板运送装置，具有：主输送器，单张运送基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；基板交接部，使上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，同时将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分支输送器交接至上述主输送器。
所属类别：	发明专利