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原文传递 基板运送装置
专利名称: 基板运送装置
摘要: 本发明公开一种基板运送装置,其包括一底座、一基板承载机 构和一主体结构,该基板承载机构包括一机械手臂和一夹具,该夹 具与该主体结构相连并且固持该机械手臂,该机械手臂由上下两组 长条形构件构成,该底座支撑该主体结构。其中,该机械手臂的上 一组长条形构件之间的距离不同于下一组长条形构件之间的距离。 该基板运送装置可运送多种不同尺寸的基板。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 广东;44
申请人: 群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司
发明人: 周子玮
专利状态: 有效
申请日期: 2005-05-29T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200510034984.6
公开号: CN1868837
分类号: B65G49/05(2006.01)I
申请人地址: 518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层
所属类别: 发明专利
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