专利名称: | 基板运送装置 |
摘要: | 本发明公开一种基板运送装置,其包括一底座、一基板承载机 构和一主体结构,该基板承载机构包括一机械手臂和一夹具,该夹 具与该主体结构相连并且固持该机械手臂,该机械手臂由上下两组 长条形构件构成,该底座支撑该主体结构。其中,该机械手臂的上 一组长条形构件之间的距离不同于下一组长条形构件之间的距离。 该基板运送装置可运送多种不同尺寸的基板。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 广东;44 |
申请人: | 群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人: | 周子玮 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-05-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200510034984.6 |
公开号: | CN1868837 |
分类号: | B65G49/05(2006.01)I |
申请人地址: | 518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
所属类别: | 发明专利 |