原文传递
搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置
| 专利名称： | 搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置 |
| 摘要： | 本发明的搬运物浮起组件(50)包括从设置在上面(52)侧的吹 气口(54)吹出空气的吹气流路(66)、及从设置在上面(52)侧的 吸气口(56)吸引空气的吸气流路(64)。吹气流路(66)具有流路 截面积不同的大流路(70)和小流路(68)，并具有流路截面积不连 续变化的部分。这样，在流路截面积不连续变化的部分产生压力损失， 可以提高作为搬运物的玻璃基板的保持刚性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 发明人： | 川地俊一;藤川正行 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-02-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680006888.3 |
| 公开号： | CN101133488 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 陈英俊 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
