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硅微谐振式加速度计温度耦合非线性问题研究与敏感结构的优化设计
| 论文题名： | 硅微谐振式加速度计温度耦合非线性问题研究与敏感结构的优化设计 |
| 关键词： | 硅微;谐振式;加速度计;温度;耦合非线性;问题研究;敏感 |
| 作者： | 张晶 |
| 专业： | 仪器科学与技术 |
| 导师： | 苏岩;Alberto Corigliano |
| 授予学位： | 博士 |
| 授予学位单位： | 南京理工大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 硅微谐振式加速度计温度耦合非线性问题研究与敏感结构的优化设计 |
| 关键词： | 硅微;谐振式;加速度计;温度;耦合非线性;问题研究;敏感 |
| 作者： | 张晶 |
| 专业： | 仪器科学与技术 |
| 导师： | 苏岩;Alberto Corigliano |
| 授予学位： | 博士 |
| 授予学位单位： | 南京理工大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |