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原文传递 硅微谐振加速度计数字锁相驱动与检测技术研究
论文题名: 硅微谐振加速度计数字锁相驱动与检测技术研究
关键词: 硅微;谐振;加速度计;数字锁相;驱动
作者: 黄力弘
专业: 仪器仪表工程
导师: 李宏生;刘梅
授予学位: 硕士
授予学位单位: 东南大学
学位年度: 2018
正文语种: 中文
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