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静电刚度式谐振微加速度计的温度效应研究
论文题名:
静电刚度式谐振微加速度计的温度效应研究
关键词:
电刚度;谐振;微加速度计;温度
作者:
肖微波
专业:
机械设计及理论
导师:
李立
授予学位:
硕士
授予学位单位:
西南交通大学
学位年度:
2018
正文语种:
中文
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