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原文传递测量物体表面形貌的设备和方法

专利名称：	测量物体表面形貌的设备和方法
摘要：	一种用于测量物体表面形貌的装置包括光学配置，该光学配置能够：引导物体表面处的第一光束；提供与第一光束相干和相对于第一光束在空间上有相移的第二光束；以及从第二光束和来自物体表面的第一光束的反射光束中产生干涉光束。该装置还包括至少一个线扫描传感器，用于检测和测量干涉光束。
专利类型：	发明专利
申请人：	康宁股份有限公司
发明人：	P·R·勒布朗克;V·M·施奈德;J·P·特赖斯
专利状态：	有效
申请日期：	2009-02-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200980109883.7
公开号：	CN101983313A
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：	刘佳
分类号：	G01B9/02(2006.01)I
申请人地址：	美国纽约州
主权项：	一种用于测量物体表面形貌的方法，包括：引导物体表面处的第一光束；提供与第一光束相干且相对于第一光束在空间上有相移的第二光束；从第二光束和来自物体表面的第一光束的反射光束中产生干涉光束；以及使用至少一个线扫描传感器来检测和测量所述干涉光束。
所属类别：	发明专利