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用于调整集成相对湿度传感器的特性的方法和系统
| 专利名称： | 用于调整集成相对湿度传感器的特性的方法和系统 |
| 摘要： | 本发明提出一种用于调整相对湿度传感器的特性以便实现精确度的期望值的方法和系统。相对湿度传感器、电荷平衡电路包括一系列感测电容器Cx1、Cx2，其包括薄多孔铂顶板、湿敏聚酰亚胺电介质和在半导体基底上的两个金属底板；以及两个固定氧化物电容Cref和C0。湿度的变化影响湿敏电介质，从而引起所述电容电路中的感测电容值的变化。可以通过使用电压调节器对电源电压进行调整和/或调节来单独地控制感测电容器和固定电容器C0中的电荷；从而可以将相对湿度传感器的斜率和偏移修改并控制为特定的期望值。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 发明人： | Y·阿利米;R·A·戴维斯 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-02-23T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200980109450.1 |
| 公开号： | CN101978277A |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
| 代理人： | 曲宝壮;蒋骏 |
| 分类号： | G01R27/26(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国新泽西州 |
| 主权项： | 一种用于调整相对湿度传感器的特性的方法，包括：提供电极对，其间形成有间隙并在该间隙内包括湿敏膜，所述电极对、所述膜和所述间隙形成感测电容器，其中，湿度的变化影响所述湿敏膜，从而改变所述感测电容器的电容值；通过在电荷平衡电路中连接所述感测电容器和固定电容器来执行相对湿度测量以便确定所述感测电容器的电容值；以及单独地对所述感测电容器和所述固定电容器的电源电压进行调节以控制所述感测电容器和所述固定电容器中的电荷以便将所述相对湿度传感器的斜率和偏移修改并控制为其特定期望值。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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