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原文传递制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器

专利名称：	制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器
摘要：	本发明涉及一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)；b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)；c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)；且然后d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。本发明还涉及特别是通过本发明的方法获得的相对湿度传感器。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	法国;FR
申请人：	梅斯法国公司
发明人：	E.杜鲁普特
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201910535279.6
公开号：	CN110618171A
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	贺紫秋
分类号：	G01N27/22(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	法国图卢兹
主权项：	1.一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤： a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)， b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)， c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)，且然后 d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。 2.根据权利要求1所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，步骤d)包括通过光刻和/或干法刻蚀或湿法刻蚀形成孔洞的图案。 3.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，非多孔无机介电层(5)采用氮化硅或碳化硅形成。 4.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，孔洞具有圆柱形形状，特别是以蜂窝图案布置，或具有沟槽形状。 5.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，还包括利用孔洞来对第一电极(11)进行图案化的步骤。 6.根据权利要求5所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，第一电极(11)中的孔洞的图案(13)和第二电极(7)和介电层(5)中的孔洞的图案(15)相对彼此交错。 7.根据权利要求5或6所述的方法，其中，第一电极和第二电极中的孔洞的图案相同，但相对于彼此偏移。 8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，第一电极和第二电极中的孔洞布置为，当在垂直于层的方向上观察时，第一电极和第二电极中的孔洞不重叠。 9.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，还包括在形成第一电极(3，11)和/或第二电极(7)之前提供粘合层的步骤，粘合层特别是至少一个铬粘合层。 10.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，还包括在第一和/或第二电极的上方提供覆盖层(21)的步骤。 11.一种相对湿度传感器，特别是根据权利要求1至10中的一项制造的，包括：基底(1)；在基底(1)上或上方的第一电极(3)；在第一电极(3)上方的无机非多孔介电层(5)；以及在介电层(5)上方的第二电极(7)；其中，无机介电层(7)和第二电极(7)二者设置有具有相同的图案(9，15)的孔洞。 12.根据权利要求11所述的相对湿度传感器，其中，无机介电层(5)采用氮化硅或碳化硅形成。 13.根据权利要求11到12中任一项所述的相对湿度传感器，其中，第一电极(11)被图案化。 14.根据权利要求13所述的相对湿度传感器，其中，第一电极(11)具有与第二电极(15)相同的图案(13)。 15.根据权利要求14所述的相对湿度传感器，其中，第一电极(11)与第二电极(15)的图案(13)交错，特别地，第一电极的图案与第二电极的图案在垂直于层的方向(17)上不重叠。
所属类别：	发明专利